판매용 중고 TRION Minilock II #9389392

제조사
TRION
모델
Minilock II
ID: 9389392
Reactive Ion Etcher (RIE) ADVANCE ENERGY RFX 600A RF Plasma generator MKS 153 Control valve VAT 02110-BH24-0001/0039 Rectangular gate valve Gas cabinet Load lock (6) UNIT INSTRUMENTS Mass flow controller: (4) UFC-1800 (Gases: N2, (2) 100cc, and (2) 250cc) (2) UFC-1660 (100cc BCl3, and 100cc CL2).
TRION Minilock II는 반도체, 마이크로 일렉트로닉 및 전자 산업에서 고정밀 에칭 및 애싱 응용 분야에 이상적인 고급 etcher/asher입니다. 3 단계 선택 가능한 강제 공기 에칭 기술을 사용하여 정확하고 반복 가능한 에치/애쉬 깊이 제어를 보장합니다. 에칭 (etched) 및 애쉬 (ashed) 표면은 훨씬 더 높은 수준의 재생성을 제공하는 균일 한 특성을 가지고 있습니다. 이 장비는 통합 팬 유닛 (Fan Unit) 을 갖춘 고성능 금속 강화 주택 (Metal Reinforced Housing) 으로 구성되어 있어 발열의 효율성을 높이고 에치 및 재시 물질의 열 분해를 최소화합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 냉판, 메쉬 필터, 냉각수 탱크, 퍼지 커버 등 수행 프로세스에 따라 여러 가지 내부 옵션이 장착 될 수 있습니다. 또한 온도를 조정하는 기능이 내장된 마이크로프로세서 컨트롤러 (microprocessor controller) 가 포함되어 있어 다양한 유형의 에칭 (etching) 및 굽기 (burning) 에 대해 여러 미리 설정된 온도 지점에서 선택할 수 있습니다. etcher/asher에 통합 된 온도 센서는 또한 열 프로세스를 실시간 모니터링할 수 있습니다. 이 시스템에는 전체 에칭/레코딩 프로세스 (etching/burning process) 동안 균일 한 온도를 유지하는 자동 온도 복구 기능이 있습니다. 이 기능을 사용하여 미디어의 온도를 줄일 수 있습니다. 즉, 과잉 (over-etching) 또는 과잉 연소 (over-burning) 가 없어도 더 나은 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 주기에 사용할 수 있으며 각 주기에 대해 특정 시작 (start) 및 중지 (stop) 시간을 설정할 수 있는 통합 타이머 머도 포함되어 있습니다. 이를 통해 에칭/레코딩 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 도구에는 균일 한 에칭/연소를위한 최적의 가스 압력을 유지하는 인시 투 가스 흐름 조절기 (in-situ gas-flow regulator) 도 장착되어 있습니다. 이는 가스의 과압 (over pressurization) 으로 인한 손상을 줄이는 데 도움이됩니다. 에셋에는 원격 위치에서 etch/ash 프로세스를 시작, 중지, 제어할 수 있는 리모콘 (remote control) 모델이 장착될 수도 있습니다. 비상 전원 종료 버튼, 과열 센서, 래칭 스타일 솔레노이드 밸브, 모든 안전 인터록 (safety interlock) 과 같은 강력한 안전 기능으로 설계되었습니다. Minilock II는 높은 정확성과 정밀 에칭/레코딩을 제공하며, 상업 및 산업 응용을위한 완벽한 에처/애셔입니다. 금속 강화 주택, 현장 가스 흐름 조절기, 열 조절, 통합 타이머, 강력한 안전 기능으로, 균일하고 정확한 표면 에칭/출판이 필요한 응용 분야에 이상적인 신뢰할 수있는 장비입니다.
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