판매용 중고 TRIKON Sigma #293652532
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ID: 293652532
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering system, 6"
(2) PVD Chambers
DC Chamber
RF Chamber
(2) CTI-CRYOGENICS OB-8F Cryo pumps
(2) ENI ACG 3 Generators
ENI ACG 10B Generator
CTI-CRYOGENICS Compressor
PFC Module
Racks
Cables
Robot
Single slice cassette lock.
TRIKON Sigma는 TRIKON Instruments, Inc.에서 설계 및 제조 한 에처/애시어입니다. 이 강력하고 정확한 장비는 화학 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashcing) 을 사용하여 금속, 도자기 및 플라스틱과 같은 다양한 재료에서 정밀 에칭 및 도가니 모양의 구멍을 만듭니다. 고급 에쳐/애셔 (Advanced Etcher/Ashier) 로서, 다양한 기판에서 복잡한 모양을 정확하게 뚫고 형성하고 정확한 깊이를 형성 할 수 있습니다. 시그마 (Sigma) 는 에칭과 애쉬싱을 쉽고 효율적으로 만드는 다양한 기능을 제공합니다. 즉, 지능형 컨트롤을 통해 에칭 속도 (etching speed) 와 애쉬싱 속도 (ashcing speed) 를 모두 조정할 수 있으므로 상세한 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 더 높은 정밀도를위한 멀티 존 (multi-zone) 자동 초점 시스템뿐만 아니라 더 부드러운 작동을위한 높은 신뢰성 선택 장치도 갖추고 있습니다. 온도가 통합되어 있으므로, 실험은 일관성을 유지할 수 있습니다. etcher/ashier에는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 있어 운영자가 메뉴를 쉽게 탐색하고 설정을 변경할 수 있습니다. 또한 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 사용자는 실시간으로 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 공정의 시간과 온도를 정확하게 제어하는 데 사용할 수 있습니다. TRIKON Sigma는 회전 단계, XYZ 단계, 샘플 홀더 등 다양한 특수 도구를 제공합니다. XYZ (XYZ) 단계를 통해 연산자는 샘플의 위치를 쉽게 조정할 수 있으며, 회전 스테이지는 안정적인 에칭 (etching) 이나 매싱 깊이 (ashcing depth) 또는 각도를 보장합니다. 또한, 샘플 홀더는 최소 설정 시간으로 샘플 변경 및 교체를 허용합니다. 고급 안전 장치 (Advanced Safety Machine) 는 내장되어 있으며 외부 추가 옵션으로 제공됩니다. 이 도구 는 화학 "에칭 '이나" 애싱' 을 사용 할 때 극히 위험 할 수 있다. 여기에는 위험한 조건을 감지하고 경고하는 센서가 포함됩니다. 결론적으로, 시그마 (Sigma) 는 안정적이고 정확한 에칭 또는 애싱 (ashing) 을 정확하고 일관성을 제공하도록 설계된 고급 에처/애셔 (etcher/ashier) 입니다. 직관적인 제어와 필수 안전 시스템 (Essential Safety System) 을 통해 사용자는 신속하고 효율적으로 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다.
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