판매용 중고 TRIKON Sigma FxP #9221542

트리콘 시그마 FxP (TRIKON Sigma FxP) 는 매우 깨끗한 환경에서 폴리 이마이드 및 기타 기판을 지상 파열, 애싱 및 치료하도록 설계된 다양한 정밀 프로세스 도구입니다. 이 장비는 폴리 이마 이드 (polyimide) 와 실리콘 (silicon) 을 포함한 기질의 미세 에칭, 에칭 및 재싱을 위해 안정적이고 확장 가능한 결과를 제공합니다. 이 시스템은 고급 자동화 및 정밀한 온보드 제어 및 모니터링을 통해 안정적이고 반복 가능한 에칭, 애싱 (ashing) 및 치료 (curing) 를 제공하도록 설계되었습니다. Sigma FxP는 높은 유연성과 기능적 확장성을 제공하는 모듈식 플랫폼으로 설계되었습니다. 고급 (High-End), 완전 자동화 플랫폼 (Fully Automated Platform) 을 통해 각 특정 응용프로그램 또는 기판에 맞춰 모든 에칭 및 애싱 매개변수를 정확하게 세밀하게 튜닝할 수 있습니다. 이 견고한 프로세스 도구는 현장 프로세스 제어, 우수한 에칭 (etching) 및 애싱 속도, 매우 낮은 수준의 잔류 물을 제공합니다. 에칭 및 애싱 프로세스는 단일 또는 다중 가스 생성기 모듈에 의해 활성화되며, 최대 유속 25 sccm, 최소 가스 압력 2 psig입니다. 이 고급 장치는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 제어 및 재생성을 높이기 위해 정확한 가스 구성을 모니터링할 수 있습니다. 또한, 컴퓨터를 사용자 정의 레시피 (recipe) 로 프로그래밍 할 수 있으며, 언제든지 리콜할 수 있으며, 이 프로세스를 가장 반복적으로 반복할 수 있습니다. 통합 고급 제어 (Advanced Control) 모듈은 프로세스 매개변수를 모니터하며, 직관적인 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 와 실시간 프로세스 정보를 제공하는 다중 뷰 (Multiple View) 를 포함한 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 또한 온보드 진단 (On-Board Diagnostics) 자산을 제공하여 최적의 프로세스 성능 및 유지 관리를 위한 중요한 매개변수와 신속한 조치를 위한 모델 경고 (Model Alert) 를 모니터링할 수 있습니다. 또한 TRIKON Sigma FxP 장비는 자동 감지 (Auto-Sensing) 모드를 제공하여 에칭 또는 재싱 조건이 최적 상태가 아닌 경우 다른 에칭 또는 애싱 가스로 전환할 수 있습니다. 이 모드는 시스템을 매우 다용도로 만들며, 수동 매개변수 튜닝 (manual parameter tuning) 이 필요 없이 복잡한 기판을 에칭 및 재싱할 수 있습니다. 또한 통합 프로세스 개선 도구 및 옵션 (예: 전자 서명 캡처, 감사 추적 기능) 을 제공하여 프로세스 조건에 대한 최적의 상세한 문서를 제공합니다. 이 도구는 최종 제품의 품질을 극대화하는 데 도움이 됩니다.