판매용 중고 TRIKON Sigma 200 #9311777

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제조사
TRIKON
모델
Sigma 200
ID: 9311777
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1990
Sputtering system, 6" (2) Load locks: VCE A, VCE B Turbo pump, 8" Hot Sputter Etch (HSE) chamber (2) Deposition chambers: Ti / TiN, Al (2) PVD Chambers (3) Cryo compressors (8200 Type) Triple rack for RF power supply Turbo controller Dealer controller Main computer (CTC) Data logger computer AC Tray Rack controller Platen heater controller Half height rack for DC power supply Operating system: FlexOS Electrical cables Power box Cryolines Does not include: Mechanical pump RGA Controller.
TRIKON Sigma 200은 중급 프로세스 개발을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. Itshigh-precision 성능 및 레이저 광학은 최적의 결과를 위해 정확한 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 직관적이고 사용하기 쉬운 터치 스크린 인터페이스로 제어되는 6 축 로봇 조작기 (robotic manipulator) 의 일관성. 견고한 상태에도 견디고 안정적인 작동과 정확성을 보장하도록 설계된 '시스템 기능' 입니다. 시그마 (Sigma) 200은 최첨단 설계를 수행하며 유리, 금속, 도자기, 액정 중합체와 같은 다양한 재료를 에칭하고 분쇄 할 수 있습니다. 이 프로세스는 UV, IR 및 YAG를 포함한 다양한 레이저를 사용합니다. 대칭 챔버 설계는 뛰어난 균일성을 가진 반복 가능한 중형 프로세스를 허용합니다. 30cm x 30cm x 30cm 챔버 크기는 완벽한 포르 메듐 스케일 프로세스 개발입니다. 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 위해 건조하고 습식 된 환경을 제공하여 물질적 제어와 더 높은 성공률을 허용합니다. 동적 온화한 제어로 인해 빠른 속도에서도 잘 수행 할 수 있습니다. 시그마 200 (Sigma 200) 은 처리 중인 장치에 유전체 마스크의 크기를 조정하여 0.05 ~ 5.00 mm 범위의 피쳐 크기의 정확한 에칭을 허용합니다. 고정밀 미러 유닛 (high-precision mirror unit) 은 각 프로세스 단계에 필요한 광자의 정확한 양을 제공하면서 우수한 반복성 ofprocess 매개변수를 가능하게합니다. 3D 이미지 스캐너 및 정렬 시스템 (3D Image Scanner and Alignment System) 은 최대 0.5m의 빠른 정렬 및 정렬 정확도를 제공합니다. 또한 이 기계에는 파편 제거 머신 (Debris Removal Machine) 이 장착되어 있어 처리 단계의 입자가 축적되어 최고 품질의 최종 제품이 될 수 있습니다. TRIKON Sigma 200에는 안전 자동 차단, 비상 정지 스위치, 연동 자산 및 배기 후드를 포함하는 고급 안전 도구도 있습니다. Sigma 200의 최대 처리 속도는 20cm/min이며, 이는 중간 규모 프로세스에 적합합니다. 또한 2 분 안에 균일 한 구조를 만드는 데 사용할 수있는 고급 온도 홍수 (advancedthermo-flood) 및 열 환류 (thermo-reflux) 방법이 있습니다. 직관적인 화면 인터페이스를 통해 TRIKON 시그마 200 (Sigma 200) 은 사용이 간편하며 최고의 정확성과 반복성을 제공하여 신뢰성 있는 프로세스 결과를 제공합니다. 고정밀 성능, 쿼츠 및 다이아몬드 코팅 레이저 광학, 고급 안전 모델을 갖춘 시그마 200 (Sigma 200) 은 중형 에칭 및 재시 (ashed) 공정을 수행하기 위한 완벽한 선택입니다.
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