판매용 중고 TRIKON Sigma 200 #9293542

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제조사
TRIKON
모델
Sigma 200
ID: 9293542
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Sputtering system, 6" Triple rack for RF Power supply Turbo controller Dealer controller Main computer (CTC) Data logger computer AC Tray Rack controller Platen heater controller RGA Controller Operating system: FlexOS Version 3.01S VCE (A & B): Process: Wafers loaded, pumped and mapped prior Vent gas: Nitrogen Hot Sputter Etch (HSE): Etch Preheat module Power (Coil and platen): 600 Watt ADVANCED ENERGY RFX600 Generator (13.56 MHz) Cryo pump, 8" Process gas: Argon 50 SCCM MFC 300 SCCM MFC Vent gas: Nitrogen Platen heating: 450 C Gauge to control and monitor vacuum Deposition chamber (TiN): Deposit Ti and TiN Platen RF bias power: 600 Watt ADVANCED ENERGY RFX600 generator (13.56 MHz) Cryo pump, 8" Process gas: Argon 300 SCCM MFC 100 SCCM MFC Vent gas: Nitrogen Platen heating: 450°C Gauge to control and monitor vacuum Deposition chamber (Al): Deposit Al Cryo pump, 8" Process gas: Argon 300 SCCM MFC Vent gas: Nitrogen Platen heating: 450°C Gauge to control and monitor vacuum Transport chamber (Dealer): Turbo pump on board Vent gas: Nitrogen Metal wafer cassette 1990 vintage.
TRIKON Sigma 200은 강철, 황동 및 기타 금속과 같은 다양한 재료를 에치하도록 설계된 에처/애셔입니다. 매우 정밀한 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 이 필요한 금속 가공, 프로토 타입 (prototyping) 및 기타 특수 프로세스에 사용됩니다. 이 시스템에는 단일 선박 에칭 및 냉각 챔버 (cooling chamber) 와 편리한 재료 처리를 위한 수직 암 리프팅 시스템 (vertical arm lifting system) 이 있습니다. 에칭 챔버는 6mm 두께의 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 오른쪽에 50mm 높이의 시야와 탈착식 덮개 플레이트를 포함합니다. 에칭 챔버는 Argon, Hydrogen 또는 기타 비활성 가스로 채워집니다. 온도는 디지털 피로미터 (pyrometer) 로 모니터링되며 최대 1,000 ° C의 실온에서 조절 및 제어됩니다. 암 리프팅 시스템 (arm lifting system) 은 수동으로 작동되며, 사용자는 챔버 내에서 재료를 부드럽고 정확한 방식으로 이동할 수 있습니다. 시그마 200은 0.4kW 메인 모터로 구동됩니다. 자동 프로세스 타이머 (Automatic Process Timer) 와 온도 판독, 에칭 시간 및 기타 매개변수를 위한 디지털 디스플레이 (Digital Display) 가 특징입니다. 자동 온도 조절 (Automatic Temperature Control) 기능을 통해 최적의 처리 조건을 유지하고 안전성을 강화하는 과열 보호 기능을 제공합니다. 에칭 챔버 (Etching Chamber) 는 안전 스위치에 의해 고정되며 온도와 압력 모두에 대한 자동 차단 방지 (Automatic Shut-off Protection) 와 같은 여러 안전 기능이 있습니다. 프로세서는 최적의 효율성을 위해 설계되었습니다. 공기흐름 강화용 회생 송풍기 (회생 송풍기) 가 장착돼 있어, 기기 측면의 제어판 (컨트롤 패널) 을 통해 조정할 수 있다. 이로 인해 에칭 결과가 향상됩니다. 또한 스테인레스 스틸 (stainless steel) 과 황동 (brass) 과 같은 재료에 복잡한 에칭 패턴 또는 마이크로-etching을 만드는 데 사용할 수있는 고급 온도 조절 기술이 있습니다. 전반적으로 TRIKON Sigma 200은 안정적이고 강력한 에처 (etcher), 애셔 (asher) 및 프로세서로, 정확한 에칭 또는 애싱 결과가 필요한 다양한 응용 프로그램에 사용됩니다. 직관적인 설계, 사용자 정의 가능한 설정, 고급 안전 (Safety) 기능을 통해 고품질 제품을 쉽고 효율적으로 만들 수 있습니다.
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