판매용 중고 TRIKON Sigma 200 #9290660

TRIKON Sigma 200은 다양한 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고성능 에칭 도구입니다. 이 장비에는 최대 200W의 전력을 공급할 수있는 강력한 제논 플래시 램프 (xenon flash lamp) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 가변 출력, 고해상도 동작 제어, 사용자 선택 가능 프로세스 레시피 등의 고급 기능도 있습니다. 시그마 200 (Sigma 200) 의 고급 광학은 각 모션 스테이지의 정확한 정렬을 보장하는 반면, 가공된 알루미늄 프레임은 강성과 단위 안정성을 높이고 샘플 스테이지를 마운트하기 쉬운 작업 공간을 제공합니다. 트리콘 시그마 200 (TRIKON Sigma 200) 은 고급 모터 및 인코더 제어 머신에 의해 제어되는 다양한 스테이지 모션을 가지고 있으며, 이는 에칭 할 때 높은 정도의 정확성과 반복 성을 보장합니다. 시그마 200 (Sigma 200) 의 강력한 크세논 플래시 램프는 에칭 프로세스 향상에 필수적인 광범위한 조명 영역을 제공합니다. 또한, 이 도구에는 고정밀 동작 제어 에셋과 고급 온도 모니터링 모델이 있습니다. 이렇게 하면 모든 프로세스가 정해진 온도 범위에서 수행되도록 됩니다. 트리콘 시그마 200 (TRIKON Sigma 200) 은 다양한 반도체 프로세스에 이상적인 여러 가지 주요 기능으로 구성되어 있습니다. 고급 옵티컬 렌즈 (Optical Lenses), 잘 설계된 반사경 챔버 및 이중 창 창을 장착하여 균일 한 광도 분포를 보장합니다. 시그마 200 (Sigma 200) 은 또한 최적의 반사도와 조절 가능한 램프 파워 설정을 가지고 있으며, 이를 통해 사용자는 에칭 프로세스를 더욱 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한, 장비에는 백 리플렉션 (back-reflection) 및 확산 필름 (diffusion film) 이 장착되어 구성 요소 조명과 잔해 축적을 방지합니다. TRIKON Sigma 200의 고급 소프트웨어 인터페이스는 에칭 프로세스를 완벽하게 제어합니다. 에칭 깊이, 에칭 영역, 주기 수, 펄스 길이, 펄스 에너지, 로드 방향 등의 프로세스 설정, 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 강력한 사용자 레시피 (레시피) 를 제공하여 다양한 알고리즘과 설정을 저장하고 회수할 수 있습니다. 전반적으로, Sigma 200은 광범위한 반도체 어플리케이션을 위해 최적의 에칭 솔루션을 제공합니다. 고급 옵틱, 강력한 제논 플래시 램프, 정밀 제어 시스템은 반도체 제조 공정에 적합합니다. 사용자 정의 가능한 기능과 사용자 친화적 인터페이스를 통해 효율적이고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.