판매용 중고 TRIKON Planar 200 #293758858

TRIKON Planar 200은 반도체 제조에서 정확하고 효율적인 microfabrication 프로세스를 위해 설계된 최첨단 etcher/asher 장비입니다. 이 고급 도구는 플라즈마 에칭 (plasma etching), 애싱 (ashing), 저항 스트리핑 (resist striping) 등 다양한 애플리케이션에 이상적인 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 혁신적인 디자인과 탁월한 성능을 갖춘 Planar 200 은 프로세스 제어, 안정성, 생산성 등에 있어 업계에서 새로운 표준을 제시하고 있습니다. TRIKON Planar 200에는 고출력 RF 플라즈마 소스가 장착되어 있어 전체 기판 표면에서 일관된 에칭 및 애싱 (ashing) 결과를 보장합니다. 이 "플라즈마 '원 은 산소," 플루오린' 및 염소 를 포함 하여 여러 가지 공정 "가스 '를 전달 할 수 있으며, 그 로 인해 각기 다른 화학 물질 과 선택성" 프로파일' 이 특정 한 공정 요구 조건 에 부응 할 수 있다. 또한, 이 시스템에는 고급 가스 흐름 제어 (gas flow control) 메커니즘과 압력 조절 시스템 (pressure regulation system) 이 장착되어 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하고 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 안정적인 플라즈마 환경을 유지합니다. 평면 200 (Planar 200) 의 주요 특징 중 하나는 고급 웨이퍼 처리 장치 (advanced wafer handling unit) 로 직경이 최대 200mm인 기판에 대한 고정밀 포지셔닝 및 정렬 기능을 제공합니다. 이 머신을 통해 사용자는 서브 마이크론 (sub-micron) 피쳐 크기와 최소 에지 효과로 정확한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 패턴을 달성할 수 있으며, 이를 통해 더 높은 장치 산출량과 성능을 얻을 수 있습니다. 웨이퍼 처리 도구 (Wafer Handling Tool) 는 완전히 자동화되어 있으며, 사용자의 개입 최소화, 처리량 극대화, 다운타임 최소화로 복잡한 프로세스 시퀀스를 수행할 수 있도록 프로그래밍될 수 있습니다. 또한 TRIKON Planar 200은 최첨단 프로세스 모니터링 및 제어 에셋을 특징으로하며, 이를 통해 프로세스 매개 변수를 실시간으로 피드백하고 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델에는 에치 속도, 선택성, 균일성 및 기타 중요한 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하는 고급 엔드포인트 감지 메커니즘, 광학 방출 분광기 (optical emission spectroscopy) 센서 및 현장 플라즈마 진단 도구가 장착되어 있습니다. 이 피드백 루프 (feedback loop) 를 통해 사용자는 프로세스를 즉석에서 세밀하게 조정하고, 프로세스 레시피를 최적화하며, 높은 반복성과 안정성으로 원하는 etch 및 ash 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 기능과 더불어 Planar 200 은 사용자에게 친숙한 인터페이스와 소프트웨어로 설계되어 장비의 작동과 유지 관리를 단순화합니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 프로세스 레시피, 데이터 로깅, 시스템 진단, 문제 해결 툴을 손쉽게 액세스할 수 있으며, 광범위한 교육이나 전문 지식 없이 신속하게 실험을 설정하고, 결과를 분석하고, 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 또한 원격 모니터링 (Remote Monitoring) 및 제어 (Control) 기능을 통해 사용자는 원격 위치에서 시스템을 액세스하고 중앙 인터페이스에서 여러 도구를 감독하여 작업을 간소화하고 효율성을 높일 수 있습니다. 전반적으로, TRIKON Planar 200은 반도체 및 관련 산업에서 광범위한 microfabrication 애플리케이션을 위해 타의 추종을 불허하는 성능, 정밀 및 생산성을 제공하는 다재다능하고 신뢰할 수있는 etcher/asher 도구입니다. 최첨단 기술, 고급 기능, 사용자 친화적 설계를 갖춘 Planar 200은 높은 처리량, 반복 능력, 프로세스 제어를 통해 우수한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 결과를 얻으려는 연구원, 프로세스 엔지니어, 제조 전문가에게 이상적인 솔루션입니다.