판매용 중고 TRIKON Omega RIE #293651484
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TRIKON Omega RIE는 고품질, 정확하고 전문화 된 기술을 시장에 제공하기 위해 개발 된 RIE (Reactive Ion Etching) 장비입니다. PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 및 고밀도 플라즈마 기능 (High-Density Plasma Capability) 을 포함한 현대의 고급 마이크로 세공 기술을 사용하여 정확하고 정확한 에칭 패턴을 제공합니다. 이러 한 기술 로, 구멍, "트렌치 ', 선 폭 과 같은 정확 한 특징 들 을 여러 가지 재료 로 새길 수 있다. 오메가 RIE (Omega RIE) 는 금속 및 유전체 에치, 깊은 반응성 이온 에치, 에칭 및 증착의 독립적 인 최적화 등 광범위한 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 전용 이온화 (Ionizing) 및 폭격 시스템 (Bombardment System) 과 같은 최첨단 기술로, 현실적인 에치 깊이와 고급 기술 장치에 대한 기능 정의가 가능한 고밀도 플라스마를 생산합니다. 또한, TRIKON Omega RIE는 고급 타이밍 제어, 고출력 및 플라즈마 제어 에칭, 독립적 인 이온 및 에너지 이온 에치 제어, 플라즈마 안정성 및 신뢰성을 위한 통합 냉각 장치 등 다른 고급 기능 세트를 제공합니다. 또한, 이 머신에는 기본 제공되는 소프트웨어와 에칭 (etching) 프로세스의 실시간 디스플레이가 있으며, 이를 통해 에칭 (etching) 매개변수 및 에칭 프로세스 중 실시간 최적화를 조정할 수 있습니다. 이를 통해 더 긴 실행 및 반복 가능한 에치 깊이에 대한 일관된 결과가 보장됩니다. 이 도구는 다양한 금속 및 유전체를 지원하며, 매우 다양한 에칭 에셋을 제공합니다. 오메가 리에 (Omega RIE) 는 컴팩트하고 컴팩트한 모델로, 조작이 쉽고 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 높은 정확성과 반복성을 제공합니다. 뛰어난 성능을 제공합니다. 독특한 기능으로 인해 TRIKON Omega RIE는 가장 까다로운 어플리케이션에 이상적입니다. 신뢰할 수 있고, 효율성이 높으며, 소유 비용이 저렴합니다. 이 기술은 업계 및 연구실을위한 마이크로 패브릭션 (microfabrication) 및 마이크로 머시닝 (micromachining) 을 위한 탁월한 선택입니다.
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