판매용 중고 TRIKON Omega 201 #293754687
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트리콘 오메가 201 (TRIKON Omega 201) 은 반도체 산업의 정확한 표면 수정 및 청소 응용 분야를 위해 설계된 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 이 고급 장비는 혁신적인 기술과 사용자 친화적 (user-friendly) 기능을 조합하여 다양한 재료를 정확하고 효율적으로 처리할 수 있도록 합니다. 오메가 201 (Omega 201) 에는 기판 표면에서 재료를 제거하기 위해 반응성 가스의 조합을 활용하는 고급 플라즈마 에칭 및 애싱 챔버 (ashing chamber) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 실리콘, 산화 실리콘, 질화 실리콘, 다양한 금속을 포함한 다양한 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 이 다양성은 포토레시스트 스트리핑 (photoresist stripping), 플라즈마 에칭 (plasma etching), 표면 클리닝 (surface cleaning) 등 다양한 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 트리콘 오메가 201 (TRIKON Omega 201) 의 주요 특징 중 하나는 고성능 진공 장치이며, 일관된 처리 결과를 위해 안정적이고 균일 한 플라즈마 환경을 보장합니다. 이 기계는 대용량 펌프 (Pump) 를 장착하여 챔버의 신속한 대피, 사이클 시간 최소화, 전체 처리량 증가 등을 제공합니다. 또한, 진공 공구는 입자 생성 및 오염을 최소화하여 높은 수확량, 안정적인 공정 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 오메가 201 (Omega 201) 은 또한 연산자가 처리 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 제어 할 수있는 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다. 에셋에는 온도, 압력, 기체 흐름 속도 (Gas Flow Rate) 등 주요 프로세스 매개변수에 대한 직관적인 탐색 및 실시간 모니터링을 제공하는 터치 스크린 제어판 (Touch Screen Control Panel) 이 장착되어 있습니다. 운영자는 특정 재료 요구사항과 원하는 프로세스 결과를 수용하기 위해 처리 레시피를 쉽게 설정하고 수정할 수 있습니다. 성능 측면에서, TRIKON Omega 201은 높은 공정의 반복성과 균일성을 가진 뛰어난 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 이 모델에는 고급 RF 전원 공급 장치 (Advanced RF Power Supplies) 가 장착되어 있으므로 플라즈마 에너지 및 분배를 정확하게 제어할 수 있으며, 각기 다른 재료 및 어플리케이션에 대해 최적의 처리 조건을 보장합니다. 이 장비는 또한 가열 된 전극 기술 (heated electrrode technology) 을 특징으로하며, 프로세스 효율성을 향상시키고 플라즈마 처리 중 기판 손상의 위험을 줄입니다. 또한 Omega 201은 안전성과 신뢰성을 염두에두고 설계되었습니다. 이 시스템에는 여러 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 센서가 장착되어 있어 위험 (Hazard) 을 방지하고 운영자 보호를 보장합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 탄탄한 플라즈마 환경을 견딜 수있는 견고한 재료와 장기간의 안정성, 최소한의 다운타임을 보장하는 장기간 사용량 (usage) 으로 구성됩니다. 전반적으로, TRIKON Omega 201은 광범위한 반도체 처리 응용 프로그램에 탁월한 성능, 다용도 및 사용자 친화성을 제공하는 최첨단 etcher/asher 장치입니다. 고급 기술, 사용자 친화적 인터페이스, 견고한 시공을 갖춘 오메가 201 (Omega 201) 은 반도체 제조업체들에게 정확하고 효율적인 표면 수정 및 청소 프로세스를 추구하는 이상적인 솔루션입니다.
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