판매용 중고 TRIKON / AVIZA Omega i2L #9278124

TRIKON/AVIZA Omega i2L은 과학, 산업 및 교육 응용을 위해 설계된 고급 건식 플라즈마 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 대형 작업 챔버, 최첨단 회로 및 제어 시스템, 에칭 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하는 독특한 질량 흐름 센서 (mass-flow sensor) 를 갖추고 있습니다. 이 장치의 정교한 전원 공급 장치 (Power Supply) 는 광범위한 처리 매개변수를 제공할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 에칭/애싱 (etching/ashing) 요구 사항을 특정 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 배출량을 제한하고 운영자 (Operator) 와 환경을 보호하도록 설계된 통합 배기 (Exhaust) 도구를 갖추고 있습니다. 에칭 공정은 통합 질량-흐름 미터 (mass-flow meter) 를 사용하여 최적화되어 원자로 내 압력과 온도를 실시간으로 결정합니다. 사용자는 시간, 영역, 특정 에치 가스 (etch gas) 를 기준으로 에칭을 제어할 수 있으므로 에치 레이트가 애플리케이션에 최적화됩니다. i2L은 플루오린계 가스, 산소, 다양한 고귀하고 작동하는 가스를 포함하여 다양한 에칭/애싱 가스를 사용할 수 있습니다. 이러한 가스는 특정 레시피에서 단독으로 사용되거나 결합 될 수 있습니다. 이것 은 "실리콘 웨이퍼 '에서" 플라스틱' 및 금속 에 이르기 까지 여러 가지 재료 에 적합 하다. AVIZA Omega i2L은 독특한 인체 공학 디자인을 특징으로합니다. 그 "알루미늄 '합금 공사 는 열 왜곡 을 제거 하여" 웨이퍼' 나 분말 에 잠재적 인 손상 을 방지 한다. 또한, 모듈식 설계를 통해 다양한 액세서리 (옵션) 를 사용할 수 있으며, 다양한 애플리케이션의 모델을 사용자 정의할 수 있습니다. TRIKON Omega i2L은 광범위한 사용자의 요구를 충족하도록 설계된 다재다능한 etcher/asher입니다. 정교한 전원 공급 장치, 통합 질량 측정기 (mass-flow meter), 고급 제어 장비 (advanced control equipment) 및 뛰어난 설계는 산업, 과학 및 교육적 요구를 충족시키는 강력한 도구를 제공합니다.