판매용 중고 TRIKON / AVIZA Omega  FxP #293799540

TRIKON/AVIZA Omega FxP는 반도체 산업의 정밀 에칭 및 재싱을 위해 특별히 설계된 고급 에처/애셔입니다. 고급 (Advanced), 자동 (Automated) 유체 제어 장비를 통해 처리 시간을 최적화하고 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 이 기계는 반도체 장치 제조에 사용되는 광전자, 금속화, MEMS, 광전자 및 기타 재료의 고급 에치 애쉬 (etch-ash) 에 사용될 수있다. 이 기계는 개방형 프레임 구조 (open frame construction), 광학 뷰 창 (optical view window), 빠른 유지 관리 및 작동을 위한 간편한 액세스 챔버 (chamber) 를 갖춘 설계에서 독특합니다. 이 기계는 고효율 진공계 (vacuum system), 정밀 가스 전달 장치 (gas delivery unit), 강력한 난방 및 냉각기를 결합하여 에칭 및 애싱 프로세스 동안 뛰어난 정밀 제어를 제공합니다. 이렇게 하면 샘플의 서피스가 선택한 에찬트 (etchant) 로 완전히 덮여 있으며 어떤 식 으로든 손상되지 않습니다. AVIZA 오메가 FxP (Omega FxP) 는 또한 열전사 (thermocvlves) 와 가스 모니터링 센서 (gas monitoring sensor) 와 같은 고급 안전 시스템을 통해 위험한 상황을 감지하고 비상 사태가 발생할 경우 도구를 종료합니다. 이렇게 하면 etcher/asher에서 작업하는 동안 사용자의 작업 조건이 최적화됩니다. 이 기계의 목표 정확도는 최대 1äm이며 -65 ° C ~ 500 ° C 범위의 온도에서 작동 할 수 있습니다. 최대 200mm 크기의 기판을 처리 할 수 있으며 CF4, O2, SF6 및 Ar 등 다양한 프로세스 가스를 지원합니다. 에칭 또는 애싱을 위해 TRIKON Omega FxP에는 단일 에셋과 멀티 스텝 에칭을 모두 제공하는 독특한 듀얼 모드 이온 소스가 있습니다. 이를 통해 표면에 높은 정밀도와 짝수 에치/애쉬 (etch/ash) 패턴이 있습니다. 기계 의 모든 구성 요소 는 매우 안정적 이고 정밀 한 "에칭 '과" 애싱' 과정 을 보장 해 준다. 오메가 FxP (Omega FxP) 는 빠른 설정 및 빠른 주기 시간을 허용하는 완전 자동화 도구입니다. 이를 통해 반도체 장치 제작에서 고급 에치 애쉬 (etch-ash) 프로세스에 대한 탁월한 선택이 모델입니다.