판매용 중고 TRIKON / AVIZA FxP #9135551

TRIKON/AVIZA FxP는 반도체 장치의 제조에 사용되는 고급 에처 (또는 애셔) 입니다. 다용도, 경제성, 자동화된 툴로서 프런트엔드/백엔드 프로세싱에 모두 적합합니다. 이 장치에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 에칭 프로세스 (etching process) 를 정확하게 제어하는 자동화된 프로세스 제어 알고리즘이 장착되어 있습니다. 이 장치의 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 연산자는 etching에 대한 다양한 매개 변수 (예: 시간, 전원, 압력, 유량) 를 입력할 수 있습니다. 또한, 소프트웨어는 여러 레시피 설정을 허용하며, 필요에 따라 유연성을 수정할 수 있습니다. 하드웨어는 에칭 과정에서 웨이퍼 스테이지와 마스킹 헤드를 움직이는 6 축 로봇 암 (6 축) 을 특징으로합니다. 이로써, 에칭 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으며, 패턴화된 기판 (patterned) 및 패턴화되지 않은 기판 (unpatterned substrate) 서피스 모두를 균일하게 에칭할 수 있습니다. AVIZA FxP는 동시 다중 수정 에칭과 같은 고급 프로세스 기능을 제공합니다. 또한 높은 에치 (etch) 처리율을 제공하여 운영 효율성을 높이고 비용을 절감합니다. 이 장치에는 멀티 타겟 (multi-target) 에치 챔버 (etch chamber) 가 장착되어 있어 단일 프로세스 사이클에서 여러 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 방은 각기 다른 시간, 압력, 전압의 동시 에칭을 가능하게하며, 웨이퍼를 다른 챔버로 옮길 필요가 없습니다. TRIKON FxP는 정확한 에칭 제어 및 최적화된 성능을 제공하는 것 외에도, 매우 안전합니다. 사용자 및 웨이퍼 (wafer) 를 보호하기 위한 다양한 운영 기능과 안전 (safety) 기능이 장착되어 있어 쉽고 안전하며 안정적인 사용을 보장합니다. 이러한 기능에는 내장 진단, 조절 가능한 안전 경보 및 가스 흐름 차단 기능이 포함됩니다. 또한 "FxP '의 혁신적 인 설계 는 봉인 된" 라디에이터' 내 에 위험 한 "가스 '분포 성분 들 을 집어 넣어 식각 과정 중 에 최대 의 운전자 의 안전 을 제공 한다. TRIKON/AVIZA FxP는 웨이퍼의 정확한 패턴과 기능을 에칭하기위한 훌륭한 장비입니다. 고급 안전 기능과 더불어, 정확한 프로세스 제어, 높은 처리량, 사용자 친화적, 자동 작동 기능을 제공합니다. 결론적으로, AVIZA FxP는 오늘날 지속적으로 발전하는 반도체 장치 구성 요구 사항에 부합하는 완벽한 에처입니다.