판매용 중고 TRIKON / AVIZA Celsior #9226879

TRIKON/AVIZA Celsior는 매우 높은 정확도 패턴화 및 처리를 제공하도록 설계된 고급 정밀 에처 및 애셔 (asher) 장비입니다. 이 시스템은 가장 작은 피쳐 크기와 가장 정확한 패턴화 (patterning) 및 재싱 (ashing) 결과를 얻도록 최적화되어 반도체 기판에 걸쳐 마이크로 일렉트로닉 전문가들이 작은 기능을 개발할 수 있습니다. 이 장치는 전자장치의 성능을 최적화하기 위해 깨끗하고, 즉각적이며, 정확한 처리를 위해 설계되었습니다. AVIZA Celsior 는 저전력 요구 사항, 저비용 (low-cost) 작동, 다용도 애싱 (ashing) 기능을 통해 다양한 화학적 소스와 파우더 준비 기술을 선택할 수 있습니다. 새로운 합금 호환 에치 챔버 (etch chamber) 를 사용하여 TRIKON Celsior는 합금 또는 여러 필름의 공동 무료 에칭을 생성 할 수 있습니다. 또한, 에치 챔버 (etch chamber) 에는 침전 된 금속의 적절한 용융과 균일 한 혼합을 보장하기 위해 통합 진공 보조 리플로우가 장착되어 있습니다. 기계는 8mm 정도의 작은 기판의 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 가능하게하여 작은 피쳐 크기에 대해 높은 정밀도를 허용합니다. 또한 섭씨 (Celsior) 는 최대 32mm 크기의 기판을 동일하지 않은 미세로 처리 할 수 있습니다. 정밀 에칭 (precision etching) 및 애싱 (ashing) 처리량 측면에서, 기계는 각 단계마다 다양한 시간을 갖는 최대 10 개의 에칭 및 애싱 단계를 갖습니다. 이 도구에는 프로세스 매개변수의 온라인 모니터링, 자동 실행 종료 프로토콜, 자동 피드백 매개변수, 다양한 마스크 유형, 향상된 웨이퍼 기계적 처리 등과 같은 기능도 포함되어 있습니다. 사용자에게 최적의 안전을 위해 TRIKON/AVIZA Celsior는 에어록 연동 에셋으로 설계되었으며, 프로세스별 안전 경비원을 포함합니다. AVIZA Celsior (AVIZA Celsior) 는 장치 제작 프로세스에서 작고 단단한 패턴 레이어를 생산하는 데 이상적인 툴입니다. 즉, 다운타임을 최소화하면서 정확성과 신뢰성을 필요로 하는 모든 실험실 또는 생산 환경에 완벽한 선택입니다. 저전력 (low power) 요구 사항과 정확도가 높아 다양한 마이크로 일렉트로닉 기판을 처리하기 위한 비용 효율적인 선택입니다.