판매용 중고 TRIKON / AVIZA Celsior #293665944

TRIKON/AVIZA Celsior는 반도체 제조 공정에서 광범위한 기판을 에치, 예금, 스트립 및 청소하는 데 사용되는 전문적인 풀 필드, 고해상도 웨이퍼 에처/애셔입니다. 안정성이 뛰어나고, 완벽하게 자동화되며, 비용 효율적인 운영 툴입니다. AVIZA Celsior etcher/asher에는 AES (Automatic Exchange System) 및 RPS (Remote Plasma Source) 를 포함한 여러 가지 고급 기술이 있습니다. AES는 실시간 품질 관리 (Quality Control) 와 프로세스 레시피의 신속한 가용성의 이점을 제공합니다. RPS는 반응성 플라즈마 (reactive plasma) 의 모듈 식 소스로, 기판의 모든 부분을 균일 하게 에칭한다. 또한, 기계에는 고급 DTC (Dynamic Thermal Control) 시스템이 장착되어 있어, 절차의 모든 단계에서 안정적인 에칭 및 증착 프로세스를 보장합니다. 또한, TRIKON Celsior는 다양한 결과를 얻기 위해 다양한 프로세스 레시피를 실행할 수 있습니다. 여기에는 실리콘, 석영, 알루미나 및 TiN과 같은 식각 기질이 포함됩니다. 또한 금속, 폴리 이마이드, SiO2, SiN 등을 포함한 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. 또한, 섭씨 (Celsior) 는 기판을 청소하고 닦는 전용 도구와 챔버 조건을 제어하고 모니터링하는 데 사용됩니다. 소프트웨어 패키지에는 자동 유지 관리 및 진단, 암호 보호, 실시간 매개 변수 로깅, 입자 추적 등이 있습니다. TRIKON/AVIZA Celsior etcher/Asher는 엄격한 안전 프로토콜이있는 클린 룸 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 조작 과 유지 가 쉽고, 최적 의 수량 의 기판 을 효율적 으로 가공 하고, 질 이 우월 하다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 병렬 처리 기능으로도 설계되어 대용량 생산 라인에 이상적입니다. 요약하자면, AVIZA Celsior는 다양한 에칭 및 증착 프로세스 목록을 수행하도록 설계된 다기능, 완전한 기능의 etcher/asher입니다. 고급 자동화 기술, 모니터/제어 시스템 (Monitor/Control System) 은 우수한 기판 품질을 통해 효율적이고 균일한 작동을 보장하며 안정적이고 경제적인 칩 구성이 가능합니다.