판매용 중고 TRIKON / AVIZA Celsior #293652303

TRIKON/AVIZA Celsior는 AVIZA 브랜드에서 개발 한 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 균일 한 에칭 성능에 최적화된 공압 제어 정전 식 결합 챔버를 특징으로합니다. 그것 은 광범위 한 재료 로 작용 하며, 높은 속도 로 "에칭 '할 수 있다. 이 시스템에는 단일/2 마스크 조정기 (mask aligner) 가 장착되어 있어 특정 고객 요구 사항에 대한 최대의 유연성을 제공합니다. 챔버 (chamber) 는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 안정적인 작동과 손쉬운 유지 관리를 위해 설계되었습니다. AVIZA Celsior Unit은 전자 재료의 에칭 및 재싱에 최적화되어 있습니다. 이 기계는 뛰어난 반복성과 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 철저한 적용 범위와 균일 한 결과로 광역 기판을 에칭 할 수 있습니다. 이 도구는 알루미늄, 폴리 이마이드, TiN, Polaymide 등 다양한 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 또한 2 "최대 8" 의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. TRIKON Celsior 자산은 에치/애쉬 속도와 뛰어난 균일성, 청결성 및 반복성을 제공합니다. 다양한 소스와 가스를 수용할 수 있으며, 에치 레이트 (etch rate) 와 균일성 (unifority) 을 잘 제어합니다. 모델에는 AutoSelectTM (AutoSelectTM) 이 장착되어 있어 운영자가 단일 단추로 etch/ash 프로세스를 제어할 수 있습니다. 이 장비는 또한 AutoMasksTM (AutoMasksTM) 을 특징으로하며, 이를 통해 한 단계에서 여러 레이어를 에치할 수 있습니다. Celsior System은 기판 및 웨이퍼 카세트 로드/언로딩을위한 다단계 자동 연산, 추가 기판 보류를위한 다중 트레이 플래튼 장치, 진공 챔버 퍼지 머신, 일치하는 임피던스 방열성 RF 코일, 다양한 가스 제어 옵션 등 다양한 기능 및 옵션으로 제공됩니다. 이 도구는 프로그래밍 가능한 열 제어 및 플라즈마 (plasma) 및 반응물 (reactant) 가스의 자동 흐름 제어를 통해 정확한 온도 조절 및 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 에셋은 챔버 프로그래밍 (chamber programming) 과 가스 제어 (gas control) 에서 사용자에게 더 많은 유연성을 제공하여 광범위한 기판 재료를 에칭 및 재싱하는 데 이상적입니다. 또한, TRIKON/AVIZA Celsior에는 다양한 안전 기능 (예: 시각적/발음 가능한 경고 기능) 이 장착되어 있어 운영자 안전 위험을 줄일 수 있습니다. 이 장비에는 컴퓨터 기반의 반응성 가스 모니터링 시스템 (Reactive Gas Monitoring System) 도 포함되어 있어 가스수준을 수동으로 점검할 필요가 없습니다. 무엇보다도 AVIZA Celsior는 다양한 소재의 애쉬 (ashing) 및 에칭에 대한 균일 한 결과, 높은 처리량, 신뢰할 수있는 작동 및 뛰어난 유연성을 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher 장치입니다. 이 시스템은 다양한 기능을 통해 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 완벽하게 제어하여 최대한의 시간 내에 최대한의 결과를 얻을 수 있습니다.