판매용 중고 TRIKON / AVIZA Celsior #182678

TRIKON/AVIZA Celsior는 화학 기반 에칭 및 애싱 프로세스를 사용하여 나노 스케일 장치를 만드는 에처 및 애셔입니다. AVIZA Celsior (AVIZA Celsior) 는 광범위한 에치 화학 물질 및 공정 매개변수를 선택할 수있는 완전 자동화 기기입니다. TRIKON Celsior는 온도, 압력, 온도 구배, 에치 솔루션 구성 등의 매개 변수를 제어하는 완전 컴퓨터 화 된 장비를 갖추고 있습니다. 또한 Celsior는 에치 속도, 처리량 및 에치 품질에 대한 정밀 제어 기능을 제공합니다. TRIKON/AVIZA Celsior는 에치 속도와 지형을 매우 정확하게 제어 할 수 있도록 높은 에치 속도를 지원하는 화학 증기 에칭 (CVE) 프로세스를 사용합니다. 이 프로세스는 AVIZA Celsior의 고해상도 에치 패턴 기능과 함께 나노 스케일 (nanoscale) 프로세스를 허용합니다. TRIKON Celsior는 또한 독특한 진공 보조 증착 프로세스를 제공하여 여러 증착 옵션을 허용합니다. 섭씨 는 금속, 합금, 산화물, 도자기 를 포함 한 여러 가지 물질 과 "웨이퍼 '와" 다이' 와 같은 제작 된 표본 들 을 에치 '해낼 수 있다. 시스템의 웨이퍼 크기는 125mm이며 최소 기능 크기는 10nm입니다. TRIKON/AVIZA Celsior는 또한 선택적 에치, 전체 에치 및/또는 담요 에치의 세 가지 에치 모드를 제공합니다. 또한 AVIZA Celsior 는 완벽하게 통합된 실험실 지원 장치를 통해 최고 품질의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 보장합니다. 이 시스템은 샘플 로드 및 언로드, 자동화된 프로세스 제어, 레시피 생성 및 관리, 패턴화된 레이어 에칭, 포스트 프로세싱, 보고서 생성 등을 지원합니다. 또한 기본 제공되는 그래픽 디스플레이 및 보고 기능을 통해 레시피 작성 및 관리, 샘플 실행 스케줄링, 자동 데이터 로깅 (Automated Data Logging) 기능을 제공합니다. 에셋은 에치 (etched) 및 애쉬 (ashed) 샘플에 대한 자동 픽셀 평가를 지원하는 자동 광학 검사 모델 (옵션) 을 제공합니다. TRIKON Celsior는 고성능 나노 스케일 재료 및 공정의 연구원 및 개발자에게 이상적인 솔루션입니다. 높은 에치 속도 (etch rate), 정밀 제어 (precision control), 자동 처리 (automated processing) 를 결합한 섭씨 (Celsior) 는 최고 품질의 다양한 구조, 패턴 및 컴포넌트를 생성하는 데 사용될 수 있습니다. TRIKON/AVIZA Celsior는 고정밀 에칭 및 애싱 솔루션을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.