판매용 중고 TOKYO OKA / TOK TCE-7822 #293625343

TOKYO OKA / TOK TCE-7822
ID: 293625343
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1999
Asher, 6" 1999 vintage.
TOKYO OKA/TOK TCE-7822 는 다양한 애플리케이션 환경에서 뛰어난 성능과 안정성을 제공하도록 설계된 고성능 Etcher/Asher 입니다. 이 장치는 실험실, 산업 환경 등 중대량 생산의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 적합합니다. 이 장비에는 최적의 프로세스 제어를 위해 높이 조절 가능한 강력한 에처/애셔 (etcher/asher) 열이 포함되어 있습니다. 이 열은 솔리드 베드 지원 (Solid Bed Support) 에 마운트되며, 에치 시간 모니터링을 위해 로터리 인덱싱도 제공합니다. 이 기둥 은 "스테퍼 모우터 '에 의하여 조종 되므로" 에치' 시간, 온도 및 압력 을 정확 하고 정확 하게 조정 할 수 있다. 이 시스템에는 에칭 및 애싱 잔기 (ashing residue) 를 효율적으로 복구하기위한 대용량 진공 탱크도 포함되어 있습니다. TOK TCE-7822는 다수의 고급 에칭 및 애싱 프로세스를 허용하도록 설계되었습니다. 이 장치는 여러 기판을 처리 할 수 있으며, 트렌치, 경유 에치, 접촉 구멍, 종횡비 (AR) 에치 및 창 에치를 포함한 다양한 에칭 모양에 적응 할 수 있습니다. etch 창의 크기는 0.1um에서 200 äm까지 다양합니다. 에칭 정밀도를 최적화하기 위해 기계를 조정하여 가변 이방성 에칭 시간 및 가변 깊이 에치 (DOE) 를 통합할 수 있습니다. TOKYO OKA TCE-7822 (TOKYO TCE-7822) 는 여러 가스 및 시약과 호환되므로 다양한 프로세스에서 사용할 수 있습니다. 에칭 가스에는 산소, 질소 및 아르곤이 포함됩니다. 이들 "가스 '중 하나 와 함께 사용 할 때, 그 도구 는 습식 혹은 건식" 에칭' 에 사용 될 수 있다. 시약은 선택적 에칭 및 평면 화 프로세스 모두에 사용될 수 있습니다. 마지막으로, 자산을 빠른 열 어닐링에 사용할 수도 있습니다. 또한 TCE-7822 는 까다로운 환경에서 안정성과 정확성을 제공하는 고급 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 이 모델에는 다중 가스 대체 제어 (multi-gas substitution control) 가 포함되어 있어 정확한 흐름 제어 및 다중 가스 입력이 가능합니다. 이 장비에는 프로세스 압력 및 균일성을 최적화하는 진공 제어 (vacuum control) 기능도 포함되어 있습니다. 이 기능은 또한 빠른 에치 속도, 최소한의 재배치 및 에치 잔기 감소 (etch residue) 를 보장합니다. 요약하면, TOKYO OKA/TOK TCE-7822는 다양한 에칭 및 애싱 프로세스를 수행 할 수있는 안정적이고 강력한 에처/애셔입니다. 이 시스템은 다양한 기판, 다양한 크기의 공정 (process) 에치 창을 처리할 수 있으며, 여러 가스와 시약을 수용할 수 있습니다. 이 장치에는 향상된 에칭 정확도 및 신뢰성을 위해 고급 프로세스 제어 기능 (예: 다중 가스 대체 제어 및 진공 제어) 이 있습니다.
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