판매용 중고 TOKYO OKA / TOK TCE-3822 #293766670

TOKYO OKA/TOK TCE-3822 (TOKYO OK/TOK TCE-3822) 는 가장 까다로운 어플리케이션에 적합합니다. 정밀 작동이 가능한 고정밀도 제어 장비가 장착되어 있습니다. TOK TCE-3822 (TOK TCE-3822) 는 처리량이 향상되었으며 최대 20,000 웨이퍼/시간까지 에칭/애싱 할 수 있으며, 화학적, 기계적으로 민감한 재료를 빠르고 정확하게 개발하기위한 분할 코터/개발자가 포함되어 있습니다. TOKYO OKA TCE 3822는 정확한 정렬을 위해 정확한 공차를 위해 만들어진 정밀 구조 설계를 특징으로합니다. 혁신적인 엔지니어링 및 품질을 통해 에칭/애싱 프로세스 (etching/ashing process) 동안 우수한 열 및 부품 손상 제어가 가능합니다. 이 설계는 부품 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 보다 균일하게 생성하며 자동화 및 엔지니어링 프로세스와 관련하여 유연성을 높일 수 있습니다. 도쿄 오카 TCE-3822 (TOKYO OKA TCE-3822) 는 주기 시간을 줄여 프로세스 시간 조정, 에칭 시간과 애싱 시간 사이를 포함합니다. 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 주기를 면밀히 모니터링 할 수있는 고급 제어 시스템을 제공합니다. GUI (Graphical User Interfance) 를 통해 사용자는 에칭/어싱 (Etching/Ashing) 프로세스를 빠르고 쉽게 설정할 수 있으며, 에칭/어싱 작업을 지원하는 유용한 도움말 메뉴를 제공합니다. 또한 에칭/애싱 프로세스의 오작동을 방지하는 안전 잠금 (Safety Lockout) 을 포함하여 다양한 보호 기능을 제공합니다. TCE-3822의 에칭 챔버는 에치 바이어스없이 균일 한 에칭/애싱 용 반사 코팅 된 쿼츠 에칭 챔버입니다. 또한 높은 에치 속도 (etch rate), 심지어 더 높은 전력 수준에서도 높으며, 더 넓은 범위의 응용 프로그램에 대해 많은 유체와 호환됩니다. 이 챔버 (chamber) 는 가스 공정을 효율적으로 통풍하고 소비 된 가스를 제거하도록 설계되었습니다. 2 단계 배기 및 펌프 백 (pump-back) 장치를 사용하면 프로세스 압력 조건을 변경하기위한 빠른 흐름 조정이 가능하며 나중에 사용할 수 있도록 여러 레시피를 저장할 수 있습니다. TCE 3822 는 매우 까다로운 애플리케이션까지도 처리할 수 있는 다양한 기능을 갖춘, 안정적이고 정확한 etcher/asher 입니다. 견고한 디자인과 내장형 컨트롤 머신 (Control Machine) 은 에칭과 애싱 (ashing) 을 위한 완벽한 선택이며, 사용자 친화적 인터페이스를 통해 편리한 운영을 보장합니다. 고급 기능을 갖춘 TOKYO OKA/TOK TCE 3822는 모든 에칭/애싱 응용 프로그램에 적합한 선택입니다.