판매용 중고 TOKYO OKA / TOK TCE-2802 #293796089
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TOKYO OKA/TOK TCE 2802 (TOKYO OK/TOK TCE 2802) 는 가장 정밀하고 까다로운 에칭 응용 프로그램을 사용할 수있는 기능을 갖춘 고급 에칭 머신입니다. TOK TCE 2802는 고밀도 금속 에칭, 웨이퍼 에칭, 와이어 에칭 및 박막 코팅을 포함한 다양한 응용 프로그램을 갖춘 멀티 스테이지 에처입니다. TOKYO OKA TCE 2802의 총 면적은 2830 x 2560mm이며 터보-더스트 (turbo-dust) 공정을 활용하여 섬세한 표면을 빠르고 효율적으로 불러옵니다. 이 프로세스는 30 mm/초 출력에서 최대 500 äm 두께의 기판을 반입 할 수 있습니다. 이 장비는 스테인리스 스틸 (Stainless Steel), 티타늄 (Titanium) 및 구리 입힌 금속 (Copper-clad metal) 과 같은 거친 재료를 에치 할 수 있습니다. TCE 2802 는 프로세스의 총 생산성 (productivity) 시간을 늘릴 수 있는 자동 로드/언로드 시스템을 갖추고 있습니다. 자동 로드/언로드 장치 (auto loading/unloading unit) 는 기판을 에칭 챔버 (etching chamber) 에 배치하는 데 도움이 되며, 에크 타이트 밀봉이 장착되어 최적화된 에칭 환경을 제공합니다. 도쿄 오카/톡 TCE 2802 (TOKYO OKA/TOK TCE 2802) 는 또한 챔버에서 절대 5ppm 미만의 에칭 챔버에서 가스와 입자를 제거하는 데 도움이되는 고급 진공기를 갖추고 있습니다. 이 효율적인 진공 도구 (vacuum tool) 는 에칭 중 수소 확산 및 주변 충돌을 제어하여 모서리 반올림의 가능성을 제거하는 데 도움이됩니다. TOK TCE 2802 (TOK TCE 2802) 는 고급 에칭 응용프로그램을 위한 강력한 도구이며 고품질 및 정확도로 기판을 에칭할 수 있습니다. 에칭 머신에는 동적 비전 인식 에셋 (dynamic vision recognition asset) 이 장착되어 있어 더 빠른 정렬 및 처리 속도 제어가 가능합니다. 또한, 기계에는 3.2 미크론 픽셀 밀도의 임베디드 카메라가 포함되어 고급 에지 검출이 가능합니다. 에칭에 가장 적합한 환경을 유지하기 위해 TOKYO OKA TCE 2802는 산소 오염 가능성없이 최대 350 ° C까지 가열 할 수있는 빠른 가열로를 사용합니다. 온도는 인사이트 가스 모니터 (in-situ gas monitor) 로 제어되어 유해한 입자가 모델에 들어가는 것을 방지합니다. TCE 2802는 까다로운 에칭 어플리케이션을 위한 고급 동급 최강의 에칭 머신입니다. 이 기계는 다양한 복잡한 구성 요소와 기판 (기판) 으로 작업할 수 있으며, 업계 표준을 능가하는 정확성과 정밀도 (precision level) 를 갖습니다. 여러 장비의 장점과 안전 기능을 갖춘 TOKYO OKA/TOK TCE 2802는 고급 에칭 애플리케이션에 이상적인 기계입니다.
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