판매용 중고 TOKYO OKA / TOK TCA 3400 #9181768

TOKYO OKA/TOK TCA 3400은 다양한 응용 프로그램에 고품질 에칭, 애싱 및 청소 프로세스를 제공하는 etcher/asher 장비입니다. 고속 (High Speed) 및 정밀 장비 (Precision Equipment) 와 고급 프로세스 제어를 통해 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다. 이 etcher/asher 시스템은 성능 향상, 비용 절감 및 프로세스 수익률 향상을 위해 설계되었습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 직접 스프레이 또는 팬 유형 가스 격리 슈라우드 유사 디자인을 사용하는 고도의 정밀 스프레이 프로세스를 특징으로합니다. 이 장치는 금속 재질과 비금속 재료를 모두 고르게, 고품질 에칭하도록 설계되었습니다. 공정은 다양한 모양, 재료, 크기의 에칭을 용이하게하기 위해 쉽게 조정 할 수 있습니다. 팬 타입 가스 격리 (fan type gas containment) 기능은 사용 가스 및 에너지 소비량을 줄이고 폐기물을 제거하는 데 도움이됩니다. 또한 TOK TCA 3400은 효율성을 최적화하는 고급 자체 교정 기능을 제공합니다. 이 기능은 프로세스 매개변수를 자동으로 유지 관리하여 일관성 있고 품질 높은 에칭 (etching) 및 클리닝 결과를 보장합니다. 프로세스 매개 변수는 TOKYO OKA TCA-3400 사용자 인터페이스를 통해 관리 할 수도 있습니다. 기계 에는 자동 청소 과정 이 포함 되어 있는데, 이 과정 은 일관성 있게 깨끗 한 실 과 장비 를 보장 해 준다. 회전, 전원 지원 브러시 및 필터링 된 진공 도구를 사용하여 잔해를 최소화합니다. 이 에셋은 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 모드에서 클리닝 프로세스 실행을 수행하도록 설정할 수 있습니다. 챔버에는 자동 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 모델이 장착되어 있어 웨이퍼의 효율적이고 자동화된 로딩이 보장됩니다. TOKYO OKA/TOK TCA-3400은 또한 다양한 옵션을 제공하여 사용자가 에칭 및 청소 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 통합 된 이온 에치 및 스퍼터 에치 (sputter etch) 가있는 챔버와 같은 다양한 챔버 수정을 쉽게 수행 할 수 있습니다. 또한, 장비는 가스 믹싱, 웨이퍼 모양, 웨이퍼 크기, 가스 유형, 기판 유형 등 다양한 프로세스 매개 변수를 수용 할 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO OKA TCA 3400은 뛰어난 에칭 및 클리닝 성능을 제공하는 고급 etcher/asher 시스템입니다. 사용하기 쉽고, 구성 가능하며, 일관된 결과를 제공합니다. 고급 기능과 다양한 옵션을 갖춘 TOK TCA-3400 (TOK TCA-3400) 은 모든 에칭 및 클리닝 요구 사항에 적합한 선택입니다.