판매용 중고 TOKYO OKA / TOK TCA-2400 #9396127
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TOKYO OKA/TOK TCA-2400은 산업 응용 분야를 위해 설계된 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 "시스템 '은 화학적 으로 건조 한" 애싱' 을 할 수 있으며, 표준 감지기 에서 "웨이퍼 '및 기타 제품 에 이르기 까지 여러 가지 재료 를 처리 할 수 있다. 이 장치에는 300mm 웨이퍼 지원 카세트, 24 슬롯 웨이퍼 매거진 및 웨이퍼를 원하는 위치로 이동할 수있는 직선형 스테이지가 포함됩니다. 이중 존 저항로 (dual zone resistance furnace) 는 열 공정과 화학 재 반응을 모두 수행 할 수있다. 조절 가능한 난방 속도로 높은 온도 조절 및 반복 성을 제공합니다. TOK TCA-2400 (TOK TCA-2400) 은 정확하고 정확한 프로세스 매개변수를 제공하면서 프로세스 가스를 빠르게 조정 할 수있는 가스 혼합기를 사용합니다. 도쿄 오카 TCA-2400 (TOKYO OKA TCA-2400) 은 반복 가능하고 신뢰할 수있는 공정 결과와 함께 최대 1äm 기능 크기를 설정하기 위해 주변 ~ 2400 ° C의 온도 범위를 자랑합니다. "가스 '는 가공" 가스' 의 정확 한 조절 을 위하여 전하 와 구호 "가스 '를 포함 하는" 가스' 혼합물 도구 를 이용 하여 정확 한 결과 를 보장 한다. 이 자산에는 운영자와 주변 환경을 보호하기 위한 압력 (Pressure) 및 온도 모니터링 (Temperature Monitoring) 과 같은 여러 안전 기능도 포함되어 있습니다. TCA-2400 은 내구성이 뛰어난 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 제작되었으며 뛰어난 열 성능을 위한 절연 구조입니다. 이 제품은 재료 소비를 줄여 고품질 결과의 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 사용자 친화적인 LCD 제어판과 자동 자체 교정 기능을 통해 쉽고 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 프로세스를 원격 모니터링하고 제어할 수 있는 원격 자가 진단 기능 (Remote Self Diagnosis Capability) 및 통신 기능이 장착되어 있습니다. 전체적으로 TOKYO OKA/TOK TCA-2400은 다양하고 신뢰할 수있는 에칭/애싱 장비로, 정확성과 정확성이 필요한 어플리케이션에 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 시스템은 신뢰성이 높고, 작동이 쉽고, 유지 관리가 용이하며, 뛰어난 프로세스 반복성과, 신뢰성을 제공합니다. 광범위한 산업용 (industrial application) 에 이상적이며, 신뢰할 수있는 결과를 통해 여러 재료를 처리 할 수 있습니다.
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