판매용 중고 TOKYO OKA / TOK OPM A 1200 #162892

TOKYO OKA/TOK OPM A 1200은 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.에서 제조 한 플라즈마 에처입니다. (TOK). 그것 은 "박금속 필름 '과" 웨이퍼' 의 선택적 에칭 을 위한 것 으로, 반복 해서 사용 할 수 있는 낮은 소유 비용 을 지닌 것 이다. 이 에처는 마그네트론 스퍼터 프로세스 (magnetron sputter process) 를 기반으로하며, 고에너지 전기장을 사용하여 에칭하기 위해 기질을 향해 가속 된 이온을 생성한다. TOK OPM A 1200은 정확하고 자동화 된 차폐 패턴 제어, 완전 진공 밀폐 된 24 인치 스퍼터 챔버를 갖추고 있습니다. RF 전원, 마스킹, 속도 및 차폐 패턴을 포함하여 에칭 프로세스를 정확하고 자동으로 제어합니다. 이 소프트웨어에는 매개변수 최적화, 데이터 모니터링, 로깅, 재생 스토리지 등 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 이 장비는 GDSII, Gerber 또는 비트맵 데이터 형식의 전체 리소그래피 에칭도 지원합니다. TOKYO OKA OPM A 1200 에처는 초고속 처리량을 제공하여 빠른 처리 시간, 저렴한 비용의 에칭을 제공합니다. 정밀한 마스크 정렬을 위한 자동 정렬 시스템 (auto-align system) 과 프로세스 온도를 허용 한도 내에서 잘 유지하는 다중 영역 냉각 장치 (multi-zone cooling unit) 가 있습니다. 또한, 자동화 된 웨이퍼 난방 및 냉각 공정이 있으며, 이는 얇은 금속 필름을 에칭하는 동안 균일성을 유지하는 데 도움이됩니다. OPM A 1200 은 다양한 기능과 기능을 갖춘 고효율 에칭 머신입니다. 에칭 (etching) 프로세스의 정확하고 자동화된 제어, 비용 효율적인 설계, 그리고 안정적이고 정밀한 씬 메탈 (thin metal) 에칭을 위한 탁월한 선택입니다. 높은 처리량과 뛰어난 정밀도로, TOKYO OKA/TOK OPM A 1200은 일관되고 정확한 얇은 금속 에칭에 이상적인 선택입니다.