판매용 중고 TOKYO OHKA KOGYO OAPM-301B #293811593

TOKYO OHKA KOGYO OAPM-301B
ID: 293811593
웨이퍼 크기: 6"
Plasma etcher, 6".
# # # TOKYO OHKA KOGYO OAPM-301B: 포괄적인 기술 개요 OAPM-301B는 반도체 제조 공정의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 최첨단 툴은 반도체 장치의 제작에서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 대해 정확한 제어 및 안정적인 성능을 제공합니다. # # # # # 주요 기능 및 사양 TOKYO OHKA KOGYO OAPM-301B에는 기능 및 성능을 향상시키는 다양한 혁신적인 기능이 장착되어 있습니다. 이 시스템의 주요 기능과 사양에는 다음이 포함됩니다. - 플라즈마 소스 (Plasma Source): 이 장치에는 효율적인 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 반응성이 높은 플라스마를 생성하는 고성능 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. - 프로세스 유연성 (Process Flexibility): OAPM-301B는 높은 수준의 프로세스 유연성을 제공하여 가스 흐름 속도, 전원 수준, 프로세스 시간 등의 주요 매개변수를 조정하여 에칭 및 재싱 결과를 최적화할 수 있습니다. - 챔버 설계 (Chamber Design): 기계는 기판 전체에서 뛰어난 프로세스 균일성과 반복성을 보장하는 최첨단 챔버 설계를 갖추고 있습니다. -온도 제어: TOKYO OHKA KOGYO OAPM-301B는 안정적인 프로세스 조건을 유지하고 기판의 열 스트레스를 최소화하기 위해 고급 온도 조절 메커니즘을 통합합니다. - 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool): 에셋에는 프로세스 매개변수를 정확하게 조정하고 프로세스 성능을 실시간으로 모니터링할 수 있는 정교한 제어 모델이 장착되어 있습니다. # # # # Etching and Ashing Processes OAPM-301B는 반도체 장치 제조에 필수적인 다양한 에칭 및 애싱 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 장비를 사용하여 수행 할 수있는 몇 가지 일반적인 프로세스는 다음과 같습니다. - 플라즈마 에칭 (Plasma Etching): 시스템은 반응성 플라즈마를 사용하여 기판에서 재료를 선택적으로 제거하는 데 사용할 수 있습니다. 이 프로세스는 디바이스 기능을 정의하고 디바이스 구조를 만드는 데 매우 중요합니다. -플라즈마 애싱 (Plasma Ashing): TOKYO OHKA KOGYO OAPM-301B는 재시 공정에 사용될 수도 있으며, 이는 플라즈마 화학을 사용하여 기질에서 광저장제 및 기타 유기 물질을 제거하는 것을 포함합니다. 이 단계는 후속 처리 단계 전에 기판을 청소하는 데 필수적입니다. -데커밍 (Desumming): 이 장치는 하강 공정을 수행 할 수 있으며, 여기에는 제어 된 플라즈마 처리를 사용하여 기질에서 잔류 광물질 및 기타 오염 물질이 제거됩니다. # # # # Applications and Industries OAPM-301B는 광범위한 반도체 제조 어플리케이션에 필수적인 도구입니다. 이 기계의 사용에 도움이 되는 몇 가지 일반적인 응용 프로그램 및 산업은 다음과 같습니다. - 집적 회로 제조 (Integrated Circuit Manufacturing): 이 도구는 집적 회로 (IC) 제작에 널리 사용됩니다. 여기서 정확한 에칭 및 애싱 프로세스는 장치 구조 및 상호 연결을 만드는 데 필수적입니다. -MEMS 제작: TOKYO OHKA KOGYO OAPM-301B는 MEMS (Microelectromechanical Systems) 의 생산에도 사용되며, 정밀도가 높은 복잡한 장치 기능 및 구조를 만들 수 있습니다. - 광전자 장치 (Optoelectronics): 자산은 LED 및 광자 기기와 같은 광전자 장치의 제조에서 응용 프로그램을 찾습니다. 여기서 파도 파동, 격자 및 기타 광학 구조를 에칭하는 데 사용됩니다. # # # # 결론 요약하면, OAPM-301B는 최고의 성능, 프로세스 유연성, 반도체 제조 프로세스에 대한 신뢰성을 제공하는 최첨단 etcher/asher 모델입니다. 첨단 기능, 정확한 제어 기능, 다양한 어플리케이션 (application) 을 갖춘 이 장비는 현대 반도체 업계에서 고품질의 반도체 (semiconductor) 장치를 구현하는 데 필수적인 도구입니다.
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