판매용 중고 TOK TCA-3822 #9269463

TOK TCA-3822
제조사
TOK
모델
TCA-3822
ID: 9269463
웨이퍼 크기: 6"
Asher, 6".
TOK TCA-3822는 정밀 에처/애셔입니다. 화학적 에칭 및 애싱 (ashing) 공정을 사용하여 대부분의 재료를 에칭할 수있는 다재다능한 기기입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 에칭 및 어싱 프로세스에 대한 설정을 입력할 수 있는 인터페이스 창이 있습니다. 이 기기의 온도 설정 범위는 0 ~ 400 ° C, 압력 설정 범위는 0 ~ 13 bar로 정확한 온도 및 압력 제어 설정이 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 기기를 프로그래밍하여 깊이, 각도, 모양, 크기가 다른 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 로 프로그래밍할 수 있습니다. TCA-3822 (TCA-3822) 에는 로터리 스텐실 시스템 (rotary stencil system) 이 장착되어 있어 에칭 패턴 (etching pattern) 과 스캔 테이블 (scan table) 을 정확하게 배치할 수 있으며 에칭 및 애싱 영역을 매우 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한, 사용자가 최대 180 ° 의 시야각을 제공하는 회전 가능한 샘플 홀더 (rotatable sample holder) 와 에칭 및 애싱 영역에 중점을 둘 수있는 초점 시스템을 제공하는 TOK TCA-3822 (TOK TCA-3822) 는 에칭 및 애싱 프로세스에 유연성을 제공합니다. 또한, 빠른 샘플 교환 시스템은 에칭 및 애싱 프로세스를 가속화합니다. 마지막으로, etching 및 ashing 진행 상황을 모니터링하고 etching 작업을 자동화하는 재생 기능을 제공하는 컴퓨터 지원 설계 (TCA-3822) 를 통해 사용자는 전체 etching 및 ashing 프로세스를 상세하게 제어할 수 있습니다.
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