판매용 중고 TOK OAPM-301B #9111751

TOK OAPM-301B (TOK OAPM-301B) 는 고성능 에처/애셔 (etcher/asher) 장비로, 기판의 정밀 에칭/재싱이 필요한 다양한 응용 프로그램에서 사용하도록 설계되었습니다. 이 제품은 수동 (manual) 및 자동 (automated) 작업에 모두 적합한 컴팩트하고 작동이 편리한 시스템을 갖춘 최첨단 설계를 갖추고 있습니다. OAPM-301B는 기판 재료의 빠른 에칭 및/또는 애싱 (ashing) 을 제공하도록 설계되었으며, 일관된 결과를 위해 뛰어난 반복성을 제공합니다. TOK OAPM-301B에는 고효율 플라즈마 에처가 장착되어 있습니다. 전원 공급 장치 (Power Source) 는 에칭 (Etching) 또는 애싱 (Ashing) 응용 프로그램에 맞게 다양한 전원 설정을 제공할 수 있으므로 다양한 기판에서 최적의 성능을 제공합니다. 이 "에처 '는 불활성 대기 를 별도 의 근원 으로부터 끌어내어" 에칭' 이나 "애싱 '과정 중 에" 플라즈마' 와 혼합 시킨다. "플라즈마 '전원 수준 은 0 내지 600" 와트' 로 조정 될 수 있으며, 이 장치 는 가볍고 무거운 "에칭 '이나" 애싱' "애플리케이션 '에 적합 하다. OAPM-301B (OAPM-301B) 에는 온도 조절 기판 홀더와 자체 포함 된 쿼드 레벨 진공 챔버 (Quad Level Vacuum Chamber) 가 있으며 에칭 또는 애싱 환경의 빠른 주기 시간과 균일 한 대피가 가능합니다. 이 진공기는 최적의 성능 및 반복 성을 보장하기 위해 물/글리콜 (water/glycol) 도구로 온도를 제어하고 유지합니다. 챔버에는 0 ~ 10mbar의 저압 범위와 0 ~ 10kHz의 넓은 주파수 범위가 있습니다. 이 에셋은 사용이 간편하며, 사용자 인터페이스가 직관적이며, 레이블이 명확하고 체계적인 컨트롤 노브 (control knobs) 와 버튼이 있습니다. 자동 도어 오프너/클로저, 자동 작동 모델, 사용자 프로그래밍 가능 레시피, 자동 조절 기능 등 다양한 옵션 애드온도 제공됩니다. 이러한 모든 기능을 통해 TOK OAPM-301B는 정밀 에칭 또는 애싱 어플리케이션에 적합한 선택입니다.