판매용 중고 TITANIUM TECHNOLOGY Plasmax 601A #9379150

티타늄 기술 플라즈맥스 601A (Titanium TECHNOLOGY Plasmax 601A) 는 다양한 반도체 처리 라인에 맞게 설계된 고성능 에처 및 애셔 도구입니다. 이 장비는 두꺼운 필름, 박막, 포토 esist, oxide, nitride 및 기타 여러 재료를 포함한 다양한 기질을 에칭 및 재싱하는 데 이상적입니다. 고급 디자인 덕분에 다양한 크기와 모양을 처리 할 수 있습니다 (영문). Plasmax 601A 는 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 소형 플랫폼 (compact platform) 으로, 사용자가 신속하게 etch 프로세스를 프로그래밍하거나 수정할 수 있습니다. 에처 (etcher) 는 또한 최대 정확도가 필요한 응용 프로그램의 입자 생성 및 낙진 수준이 매우 낮아 탁월한 프로세스 제어 및 반복 성을 제공합니다. 이 에처에는 가변 RF 전원 생성기, 조절 가능한 스캔 속도, 펄스 너비 변조, 고급 하드웨어/소프트웨어 기능 등 다양한 표준 기능이 장착되어 있습니다. 따라서 사용자 정의 에치 프로파일을 사용할 수 있는 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 이 외에도 모니터 에칭을위한 뷰 포트 (view port for monitor etching), 더 높은 에칭 속도를위한 냉동 장치 (cryosolvent unit), 높은 처리량을 위한 자동 웨이퍼 처리 기계 (automated wafer handling machine for higher throughput) 및 기판 자동 처리를 가능하게하는 로봇 암 (robotic arm) 과 같은 성능을 향상시키는 여러 액세서리와 호환됩니다. 티타늄 기술 플라즈맥스 601A (Titanium TECHNOLOGY Plasmax 601A) 는 안전하고 신뢰할 수 있는 도구로서, 입자 생성 및 낙진이 최소화되면서 일관되고 반복 가능한 에치 프로세스를 제공합니다. 첨단 기술은 광범위한 프로세스를 지원하며, 소형 플랫폼을 갖추고 있으며, 사용자 친화적입니다. 이러한 모든 기능을 통해 601A는 프로덕션 에치 라인에 이상적인 선택이 됩니다.