판매용 중고 TITANIUM Plasmax 800A #293760247

TITANIUM Plasmax 800A는 반도체, 마이크로 일렉트로닉스, MEMS 및 광자 산업의 정밀 에칭 및 청소 프로세스를 위해 설계된 고급 플라즈마 에처/애셔입니다. 이 최첨단 장비는 뛰어난 플라즈마 균일성 (Plasma Unifority), 제어 능력 (Control and 다용도) 을 제공하여 대용량 제조 환경뿐만 아니라 연구 및 개발에 이상적인 솔루션입니다. Plasmax 800A에는 플라즈마 챔버에 최대 800 와트의 전력을 공급할 수있는 고출력 RF (Radio Frequency) 발전기가 장착되어 있습니다. 이 고출력 용량을 통해 실리콘 웨이퍼, 유리, 세라믹, 폴리머 등 다양한 기판의 효율적이고 신속한 처리가 가능합니다. RF 생성기 (Generator) 는 안정적이고 안정적인 전력 출력을 제공하도록 설계되어 확장 작업 기간에 걸쳐 일관된 에칭 성능을 보장합니다. TITANIUM Plasmax 800A의 주요 특징 중 하나는 고급 가스 전달 시스템 (advanced gas delivery system) 으로, 프로세스 화학 및 플라즈마 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장치에는 여러 프로세스 가스의 흐름 속도를 조절하는 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 가 장착되어 있어 에칭 (Etching) 및 클리닝 프로세스를 특정 재료 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한, 가스 배달기는 가스 소비와 폐기물을 최소화하고, 프로세스 효율성과 비용 효율성을 최적화하도록 설계되었습니다. Plasmax 800A의 플라즈마 챔버 (plasma chamber) 는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 및 쿼츠 (quartz) 와 같은 고순도 재료로 구성되어 광범위한 공정 화학과의 호환성을 보장하고 초고진공 상태를 유지합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 기판의 손쉬운 적재 및 하역을 촉진하는 인체 공학적 디자인 (ergonomic design) 을 특징으로하며, 장기간 가열되는 동안 과열을 방지하기 위해 효율적인 발열이 가능합니다. 타이타늄 플라즈맥스 800A (Titanium Plasmax 800A) 에는 운영자가 실시간으로 프로세스 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있는 사용자 친화적이고 직관적인 제어 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 도구에는 광학 방출 분광학 (OES) 및 질량 분석법 (Mass Spectrometry) 과 같은 고급 플라즈마 진단 도구 (Plasma Diagnostics Tools) 가 장착되어 있어 플라즈마 종에 대한 현장 모니터링과 부산물 처리가 가능합니다. 이 실시간 피드백 메커니즘은 에칭 (etching) 및 클리닝 프로세스를 정확하게 제어하여 일관되고 반복 가능한 결과를 초래합니다. Plasmax 800A 는 탁월한 성능과 안정성 외에도, 안전성과 지속성을 염두에 두고 설계되었습니다. 자산은 운영자와 장비를 잠재적 인 위험으로부터 보호하기 위해 여러 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 Fail-Safe 메커니즘을 갖추고 있습니다. 또한, 이 모델은 에너지 효율적인 부품을 통합하고 공정 가스 (process gase) 와 화학 물질의 소비를 줄임으로써 환경에 미치는 영향을 최소화하도록 설계되었습니다. 전반적으로 TITANIUM Plasmax 800A는 우수한 성능, 고급 기능, 사용자 친화적 인 디자인으로 플라즈마 에칭 및 클리닝 기술의 새로운 표준을 설정합니다. 연구 개발 용도로 사용되었든 대용량 제조 용도이든, 이 최첨단 장비는 컴팩트하고 경제적인 패키지에서 탁월한 정밀도, 안정성, 효율성을 제공합니다 (영문).