판매용 중고 TES / TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT #293609671

ID: 293609671
Dry etcher.
TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT는 연구, 개발 및 제조 실험실의 요구를 충족시키기 위해 설계된 강력한 멀티 애플리케이션 에칭 장비입니다. 이 시스템은 신뢰성 있는 기술과 고급 기술 (Advanced Technologies) 의 조합으로 구성되며, 가장 높은 수준의 정확성, 반복성, 유연성, 경제적인 솔루션을 제공할 수 있습니다. TES CUMAX-FT 에처 (Etcher) 는 모든 재료의 일관되고 균일 한 박막 증착을 제공하도록 설계되어 다양한 응용 분야에 적합합니다. 과학 CUMAX-FT의 기술 엔진 (TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT) 은 저항성 (Resist) 기반 단위로, 기판의 영역은 저항이라고 불리는 긍정적으로 충전 된 층에 의해 보호되며, 보호 영역을 탈피하기 위해 선택적으로 제거됩니다. 이 기계는 2 개의 1 차 에너지원을 사용하여 마이크로파 및 직류 (DC) 를 달성합니다. CUMAX-FT 전자 레인지 소스의 최대 출력은 200 와트이며 주파수는 2.45GHz이며 주로 에칭에 사용됩니다. DC 소스는 0-200 볼트에서 조절 가능하며, 에칭 및 저항 제거에 모두 사용할 수 있습니다. 고급 에칭 응용 프로그램의 경우, TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT는 최소한의 왜곡으로 최적화된 에치 프로파일을 제공하는 매우 정밀한 펄스 에칭 기능을 제공합니다. TES CUMAX-FT에는 수동 개입의 필요성을 최소화하는 독특한 자동화 도구가 장착되어 있습니다. 자동 에셋은 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 에서 레시피 생성, 실행, 포스트 프로세싱 (post-processing) 에 이르기까지 모든 설정 매개변수와 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 etch 패턴, linewidth, aspect ratios, etch angles, substrate bias 및 exposure power를 포함한 광범위한 매개 변수를 설정할 수 있으며, 원하는 결과가 최소한의 변형으로 달성 될 것이라는 완전한 확신을 가질 수 있습니다. 과학 기술 엔진 CUMAX-FT (TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT) 는 직관적이고 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하여 빠르고 정확한 에칭 결과를 제공합니다. 유연성과 활용성을 높이기 위해 이 모델은 수동 (manual) 및 자동 (automated) 작업을 모두 지원합니다. 제조업체가 제공하는 공장 적재 레시피 (레시피) 는 광범위한 프로그래밍 없이도 신속하게 에칭 (etching) 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 진단 도구 (Diagnostic Tools) 를 사용하여 프로세스를 모니터링하고 잠재적 오류를 경고할 수 있습니다. TES의 CUMAX-FT 에칭 시스템은 탁월한 성능과 정확성을 제공하여 모든 연구, 개발, 제조 실험실의 요구를 충족시키는 데 이상적입니다. 고급 기술과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 의 독보적인 조합으로, 최소한의 시간과 노력으로 일관성 있고 고품질의 결과를 얻을 수 있는 탁월한 선택입니다.
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