판매용 중고 TES / TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT #293595225

과학 CUMAX-FT etcher/asher의 TES/TECHNOLOGY ENGINE은 반도체 산업에서 사용되는 정밀 웨이퍼 처리 장비입니다. 고급 운영 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 특별히 설계된 정확하고 반복 가능한 에치 (etch) 및 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공합니다. TES CUMAX-FT는 신뢰할 수있는 반복성을 통해 탁월한 에칭 및 프로세스 제어를 제공합니다. 즉, 처리량이 향상되고 TCO (총소유비용) 가 낮아 고품질 에칭 결과를 제공할 수 있습니다. 과학 CUMAX-FT의 기술 엔진 (TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT) 은 최대 4 "크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 더 뛰어난 프로세스 제어를 위해 0-20" m 의 에치 간격을 조정할 수 있습니다. 개선 된 설계에는 여러 에치 각도가 포함되어 있어 일관된 에칭 결과를 제공하고 결함을 줄입니다. 또한 드라이 에치 (dry etch), 실리콘 에치 (silicon etch) 및 유전체 에치 프로세스 등 다양한 에치 프로세스를 처리 할 수 있습니다. CUMAX-FT의 에칭 챔버 (etching chamber) 는 낮은 부피와 높은 진공 감금으로 만들어져 균일 한 균일 에칭 속도를 보장합니다. 자동화된 챔버 클리닝 기능을 통해 유지 보수 주기를 줄이고, 프로세스 반복성을 향상시키고, 전반적인 효율성을 높일 수 있습니다. 또한 프로세스 매개변수에 대한 정확한 제어를 위해 여러 압력 및 온도 센서가 장착되어 있습니다. TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT에는 사용자 친화적 인 제어 시스템도 장착되어 있어 설치 및 운영이 간편합니다. 생산 결과 개선을 위한 고급 프로세스 제어 알고리즘 (process control algorithms) 을 보유하고 있으며, 운영 환경으로의 신속한 전환을 위해 프로세스 레시피 구현에 정통합니다. 또한, 이 시스템에는 원격 PC 제어 및 오프라인 데이터 로깅 기능을위한 통신 인터페이스 포트가 있습니다. TES CUMAX-FT는 고정밀 어플리케이션에 이상적인 신뢰할 수있는 에치 엔진입니다. 고급 기능, 신뢰할 수 있는 반복 기능을 통해 운영 환경에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다. 또한 사용 편의성을 통해 모든 R&D 또는 프로덕션 설치에 통합하기에 적합합니다.