판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9276792

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus는 최고의 전자 회사 인 TEL이 개발 한 에처/애셔입니다. 이 기계는 다양한 기판의 표면 미세 구조 (Surface Microsstructure) 및 제조 공정에서 매우 높은 수준의 효율성을 달성하도록 설계되었습니다. TEL Vigus는 실리콘, 갈륨 비소, 질화 갈륨 등 다양한 기질로 에칭, 애싱 (ashing) 및 기타 관련 표면 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 기계는 깊이 조절 증착 스퍼터링 장비 (depth control deposition sputtering equips) 와 에칭 제어를 위해 큰 동적 범위를 갖추고 있습니다. 또한 매우 정밀하고 균일하며, 다양한 유형의 기판을 처리하기에 이상적인 인터페이스 (interface) 를 제공합니다. 또한 TOKYO ELECTRON Vigus는 강력한 웨이퍼 처리 장치와 함께 정밀 정렬, 고해상도 및 전자 빔 리소그래피 속도를위한 멀티 빔 마스크 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 정밀한 모양과 크기 제어를 유지하면서 처리량이 많은 서피스 처리가 최적화됩니다. 이 기계는 모듈식 설계 (modular design) 로 인해 유지 관리 및 작동이 쉬우므로 개별 부품을 업그레이드, 수리할 수 있습니다. 또한 온보드 진단 머신 (On Board Diagnostic Machine) 이 제공되며, 자동 장애 탐지기 (Automatic Fault Detector) 와 통합되어 유지 보수가 쉽고 잠재적 문제에 대한 빠른 반응 시간이 가능합니다. 마지막으로, Vigus 는 탁월한 판매 후 서비스 (after-sales service) 와 교육 및 상담 (consultation) 을 통해 백업됩니다. 이 제품은 결함 형성의 위험성이 최소화되면서 초고성능 (ultra-high performance) 과 정확성을 제공하므로 제품 개발 과정이 빨라집니다.