판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9270936

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus는 반도체 산업에서 실리콘 및 기타 재료의 정밀 에칭, 형성 및 패턴화에 사용되는 고급 etcher/asher입니다. 이 첨단 장비는 몇 가지 핵심 기술을 기반으로 하고 있으며, 이를 통해 탁월한 정확성과 반복성을 제공할 수 있습니다. 고급 에칭 프로세스에는 에칭 된 패턴 치수를 정확하게 모니터링하고 조정하는 닫힌 루프 제어 장비가 포함됩니다. TEL Vigus는 다양한 에칭 챔버 (eching chamber) 및 기판 스테이지 어셈블리를 제공하여 스루 홀 (through-holes), BGA 뚜껑과 같은 복잡한 피쳐의 패턴화 및 에칭을 허용합니다. 이 기능을 통해 제조업체가 프로세스 변동성을 크게 줄이고 손실 (loss) 을 야기할 수 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON Vigus의 고급 광학은 빔 노출을 줄임으로써 에치 부산물을 줄입니다. 비구스 (Vigus) 는 에칭 및 사이드 월 커버리지를 위해 다른 가스를 공급하는 이중 가스 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 이 시스템을 사용하면 중단 없이 에칭 단계를 완료하고, 반응 시간을 줄이고, 에치 패턴의 균일성을 최적화할 수 있습니다. 이 에처 (etcher) 는 또한 다양한 스캔 모드를 출력하여 다양한 매개변수에 걸쳐 에칭 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Vigus는 사용 중인 웨이퍼 재료 유형에 따라 에칭 전력을 독립적으로 설정하는 CCPMA (Capacitively Coupled Plasma) 기술을 제공합니다. TEL Vigus는 안전과 안정성을 위해 설계되었습니다. 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 는 공구가 손상되지 않도록 프로시저 오류를 검사하는 자체 진단 시스템 (Self Diagnostic Machine) 을 갖추고 있습니다. 또한, 통합 안전 자산 (Integrated Safety Asset) 을 통해 Etcher는 약간의 변경에도 불구하고 항상 지정된 매개변수 내에 유지됩니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Vigus는 반도체 생산을위한 광범위한 기능과 기능을 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 첨단 에칭 기술 (advanced etching technology) 은 에칭 프로세스를 정확하게 제어하는 반면, 이중 가스 모델은 반응 및 에칭 시간을 줄입니다. 그리고 통합 안전 시스템 (Integrated Safety System) 은 가장 까다로운 반도체 생산 환경에서 장비가 안정적이고 안정적으로 유지되도록 합니다.