판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293826900

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus는 정밀 플라즈마 에칭 및 저항 애싱에 사용되는 에처/애셔입니다. 이 기계는 탁월한 정확도를 제공하도록 설계되었으며, 고정밀 에칭 (etching) 요구에 적합합니다. 초점 광선 (beam) 으로 인해 매우 훌륭한 해상도로 에칭할 수 있습니다. 텔 비구스 (TEL Vigus) 에는 레이저 기반 에칭 장비가 있으며, 광범위한 에치 레이트로 보정 할 수 있습니다. 그것 은 산소, "아르곤 ', 질소 와 같은 다양 한" 가스' 로 식각 을 할 수 있으며, 사용자 의 필요 에 따라 다양 한 "패턴 '을 만들 수 있다. 또한 패턴 성능을 최적화하기 위해 에치 프로파일을 변경할 수 있습니다. 이 기계는 여러 빔 소스 (beam source) 의 신호를 분석하고 통합 에칭 (etching) 프로세스를 최적화하는 기능을 갖춘 고급 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 단위를 사용하면 패턴 정밀도 오류 수준이 낮아지고, etch 결과의 반복 가능성이 높아집니다. 기계는 또한 유전체 게이트 (dielectric gate) 기능을 가지고 있으며, 이는 패턴 에치가 거의 민감한 특징이 발생하지 않도록 방지합니다. 도쿄 전자 비구스 (TOKYO ELECTRON Vigus) 는 고해상도 저항 제거 결과를 낼 수있는 저항기 (Resist Ashing Machine) 를 갖추고 있으며 고정밀 에치 요구 사항에 적합합니다. 이 에처는 균일 한 저항 제거 두께와 속도를 제공 할 수 있습니다. 또한 저전압 애싱 (low contaminant ashing) 도구를 제공하여 고압 플러그를 필요로 하지 않으며, 최소 수의 입자로 안정적이고 효율적인 에칭 결과를 제공합니다. Vigus는 사용이 간편한 사용자 친화적 인 컴팩트하고 가벼운 에처 (etcher) 입니다. 또한 연기와 냄새가 나지 않기 때문에 실험실에 쉽게 보관할 수있는 오래 지속되고 눈에 띄지 않는 디자인이 특징입니다 (영문). 또한, 최고의 에칭 속도를 제공하는 고출력 빔이 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Vigus는 고급 품질의 에처/애셔 (etcher/asher) 로 정밀 에칭 및 재싱 요구에 적합한 안정적이고 효율적인 에칭 품질을 제공합니다. 이 제품은 까다로운 에칭 (etching) 애플리케이션에 이상적인 다양한 기능을 제공하며, 견고한 제어 자산은 높은 수준의 정확성을 보장합니다. 이 기계는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 분야에 적합하며 연기 또는 냄새를 발생시키지 않고 우수한 에칭 결과를 제공합니다.