판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293630270

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus는 높은 수준의 성능과 정밀도를 위해 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 고급 드라이 에치, 고급 증착, 고정밀 도량형과 같은 고급 기술을 사용합니다. 장치 개발, 내구성 평가, 장치 제조 등의 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 고급 드라이 에치는 높은 선택성과 높은 정밀도로 에칭을 가능하게합니다. 이 장치에는 여러 가지 에칭 가스 (etching gase) 가 함께 제공되며, 이를 통해 사용자는 에칭 프로세스를 필요에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 고급 증착은 유전체 및 전도성 재료의 고속, 고품질, 안정적인 증착을 제공합니다. 빠른 에칭 (etching) 과 증착 (deposition) 을 통해 처리량이 증가하며, 높은 정밀 도량형은 품질 제어를 보장합니다. TEL Vigus etcher/asher (TEL Vigus etcher/asher) 는 사용하기 쉽고 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 자동 머신입니다. 또한 다양한 제어 시스템 (control system) 을 지원하므로 압력, 온도, 기타 프로세스 변수와 같은 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 이 툴에는 프로세스 매개변수 및 기타 운영 정보를 실시간으로 기록하는 고급 프로세스 모니터링 (Advanced Process Monitoring) 자산도 포함되어 있습니다. 이 모델에는 안전한 운영을 위해 다양한 환경 관리 시스템이 제공됩니다. 이러한 시스템에는 직류 전원 공급 장치, 펄스 발전기, 가스 배송 장비, 무단 액세스 또는 변경을 방지하는 안전 연결 장치 (Safety Interlock) 가 포함됩니다. TOKYO ELECTRON Vigus etcher/asher 시스템은 복잡한 지오메트리와 높은 종횡비를 가진 장치의 생산에 적합합니다. 또한 크고 작은 웨이퍼 범위를 처리하기위한 유연성이 있습니다. 이 장치는 고성능 컴퓨터 네트워크에서 실행되며 프로세스 제어 (process control) 및 데이터 수집을 위해 다양한 운영 시스템에 연결할 수 있습니다. Vigus etcher/asher 기계는 고품질 장치의 에칭 및 증착을위한 안정적이고 효과적인 장치입니다. 반도체 산업과 전자 제품 제조를 위한 다양한 응용프로그램을 위한 효율적이고 정확한 장치 제작을 제공한다 (영문). 이 도구를 통해 제조업체는 생산 비용을 절감하고 제품 품질을 향상시킬 수 있습니다.