판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293592518

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus는 실리콘 웨이퍼 기판의 패턴화에 사용되는 에처/애셔입니다. 에치 깊이 (etch depth) 와 각도를 매우 정확하게 제어하여 고속 패턴화가 가능합니다. TEL 비구스 (TEL Vigus) 는 혁신적인 설계를 통해 반도체 장치의 개발을 위해 미세한 구조와 깊은 참호를 식각 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Vigus는 깊은 에칭과 평면 에칭을 모두 사용하는 수직 전기 화학 (EC) 에칭 장비이며 독특한 DE (Multi-Stage Dry Etching) 기능을 갖추고 있습니다. 반도체 제조업체가 고해상도 구조와 다양한 에치 (etch) 형상을 만들도록 설계되었습니다. 곡선 모양과 비표준 모양을 실리콘 기판으로 패턴 화 할 수 있습니다. Vigus 는 설치, 운영이 간편한 운영자 친화적인 시스템으로, 사용자가 노출, 유지 시간, 린스 (rinse), 클리어 (clear) 와 같은 매개변수를 조정할 수 있도록 컨트롤러가 내장된 잉크젯 유도 프로세스를 사용합니다. 사용자는 pole-to-pole, exposure 및 background와 같은 다양한 속성을 조정할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 에칭 프로세스 동안 사용자에게 피드백을 제공하는 실시간 레시피 시각기 (repipe visualizer) 가 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Vigus는 고도로 자동화되고 정밀한 에칭 프로세스를 제공하기 위해 고성능 AC로 구동되는 수직, 다단 전기 화학 에칭 머신과 함께 작동합니다. 고급 제어 기능을 통해 TEL Vigus는 산화물, 산화물 실리콘, 유리 등 다양한 물질을 처리 할 수 있습니다. 이 도구는 빠르고 정확한 에칭 (etching) 프로세스를 통해 정확도가 높은 저가형 (low) 과 고가상도 (high aspect ratio) 구조를 손쉽게 처리할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Vigus (TOKYO ELECTRON Vigus) 는 안정적이고 효율적인 에칭 자산으로, 프로세싱 요구에 맞게 정확하고 비용 효율적인 솔루션을 찾는 반도체 웨이퍼 제조업체에 적합합니다. 이 모델은 일체형 (All-In-One) 방식의 작동이 간편한 설계로, 사용자가 높은 정확성과 반복성으로 복잡한 패턴을 만들 수 있게 해 줍니다. 또한, 이 장비는 현재 시장에서 사용 가능한 몇 안되는 에칭 시스템 중 하나이며, 안정적이고 효율적입니다 (direct-to-chip, multi-stage process).