판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus RK2 #9276793

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus RK2는 고급 반도체 기어 에처 및 애셔의 주요 공급 업체 인 TEL이 개발하고 출시 한 에처/애셔입니다. TEL Vigus RK2는 고도의 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 기술 덕분에 광범위한 재료 및 기판을 정확하게 에칭, 개발 또는 파기 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON의 중심에있는 Vigus RK2는 독점 도메인 개발 소프트웨어입니다. 사용자가 다양한 도메인 조작 프로파일을 선택하여 에칭 (etching) 프로세스를 특정 요구사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 각 프로파일을 사용하면 다양한 압력, 온도, 화학 데이터, 기타 매개변수를 선택하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. Vigus RK2에는 강력하고 효율적인 도구를 제공하는 다양한 다른 기능이 있습니다. 챔버 온도 (Chamber Temperature) 와 압력 (Pressure) 은 프로세스 일관성을 보장하기 위해 실시간으로 능동적으로 관리되고 모니터링됩니다. 사용자 요구 사항에 따라 플로어 레벨 트렌치 (floor-level trenching) 및 최적화된 기판 냉각과 같은 추가 기능을 추가할 수 있습니다. 이 장비에는 고급 웨이퍼 모니터링도 있습니다. 더 큰 웨이퍼 크기를 처리하는 데 필수적인 웨이퍼 스커트 (Wafer skirts) 는 자동적이고 단색이며 오염을 방지하기 위해 동적으로 조정됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Vigus RK2에는 종합적인 최신 인터페이스가 있습니다. 직관적 인 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있어 사용자에게 친절하고 명확한 방식으로 정보를 제공합니다. 다양한 다국어 설정을 사용하여 제어를 최대화할 수 있습니다. 또 다른 품질 보증 측정으로, TOKYO ELECTRON (TOKYO ELECTRON) 은 최고의 장비 성능 표준을 유지하기 위해 원격 관리 서비스를 제공합니다. 웹 기반 지원, 엔지니어링 서비스, 프로세스 최적화 (process optimization) 등 다양한 서비스 포트폴리오를 통해, 고객은 장비의 효율성을 극대화할 수 있습니다. TEL Vigus RK2는 고객이 TEL/TOKYO ELECTRON에서 기대하는 품질과 성능을 제공합니다. 정교한 SEM 기술은 바닥 수준의 트렌칭, 사용자 정의 도메인 조작, 동적 웨이퍼 관리, 온도 및 압력 제어 (pressure control) 와 같은 기능과 결합되어 탁월한 성능과 제어를 제공합니다. 품질 보증 측정 (Quality Assurance Measure) 및 종합적인 사용자 인터페이스와 같은 추가 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON Vigus RK2 (TOKYO ELECTRON Vigus RK2) 는 다양한 소재와 기판을 에치, 개발 또는 재현해야 하는 고객에게 적합한 솔루션입니다.