판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus Nest #293585745
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ID: 293585745
Etchers
TAC-3WWZZWW Power rack
(2) Loader modules
PM5
PM2
PM6
PM1, PM2, PM5:
TEL / TOKYO ELECTRON DC Power unit assy
SHIMAZU TMP-W3503LMC(T2) TMP
VAT 65048-JHGH-AX01 APC
MKS 722A21TGA2FA TMP PT Sensor
MKS 51A11TGA2BA010 VAC Pressure switch
MKS 41A130GA2AA040 ATM Pressure switch
(2) SMC XIAQ-25-X884 V36, 37 VAC Valves
SMC XLAQ-16HO-XO Gauge VAC valve
SMC CQEB-S63-44 5S-DCI825GI Shutter air cylinder
TEL / TOKYO ELECTRON V1Y-50-1024 EPD Sensor
TEL / TOKYO ELECTRON SE2000T EPD Controller
TEL / TOKYO ELECTRON SE2000-1M EPD Fiber
INFICON BPG-400 BA Gauge
MKS DMARETGAEKNV633 CM1
MKS DMA11TGAEKNN633 CM2
HORIBA GP-Z104-C HE PCV Center
HORIBA GP-Z104-F-2 HE PCV Edge
CKD TPR4-05-A100T-X0005 Gas flow splinter
MKS MW2-500340 Dual matcher
MKS GEW-3540 HF Generator
KYOSAN HV-PS8 HV Power supply
RKC RCB-88-2 Temperature cont box
JRC NFH-247 Heater filter
KYOSAN TW6 RF Filter
HORIBA IT-4700 Top thermometer
TEL / TOKYO ELECTRON Valve box assy
TEL / TOKYO ELECTRON TAB22E-1/LOW-LF LOW/PURF Board assy
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF LOW/PURF Board assemblies
TEL / TOKYO ELECTRON TYB22D-1/UP-LF UP Board assy
TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF UP Board assy
TEL / TOKYO ELECTRON TAB229-*/GAS2 UP Board assy
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF Gas board assemblies
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB313-1/DND Gas board assemblies
RF Rack 1,2 (PM1, PM2, PM5, PM6):
SHIMADZU EI-D3503M-TV2 TMP Controller
MKS B-5303 LF Generator
TEL / TOKYO ELECTRON PR-IF PM V2E PR IF Box
KYOSAN HPK06ZI-TE4 DC Power supply
SHIMADZU EI-D3503M-7V2 TMP Controller
MKS B-5303 LF Generator
TEL / TOKYO ELECTRON PR-IF PM V2E PR IF Box
KYOSAN HPK06ZI-TE4 DC Power supply
TEL / TOKYO ELECTRON Water leak box
TEL / TOKYO ELECTRON PCW Line (Supply.return)
RF Rack 1,2 (PM1, PM2, PM5, PM6): TEL / TOKYO ELECTRON E2B030-12/KVD FPDIF
Missing parts
PM1: Top valve box cover
PM2:
Front cover side fan
TAB229/Gas2 Board cover
Top valve box cover
PM5:
TAB229/Gas2 Board cover
Chamber right: Duct cover
Top valve box cover
AC Dist 1, 2:
KYOSAN J-P33C33G33G33-HH-HPA AC Rack
(2) FUJI ELETRONICS SA203CUL Main breakers 1, 2
FUJI ELETRONICS EA103CUL CVCF Breaker
DENKEN SEIKI NCT-F5 Transformer
TEL / TOKYO ELECTRON TAB343-1/AC Board.
TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nest는 반도체 및 태양 광 산업 응용 분야를위한 웨이퍼 처리를 위해 설계된 드라이 에칭 도구입니다. 에칭, 증착과 같은 건식 공정을 위해 설계된 고성능 도구입니다. TEL Vigus Nest는 실리콘, 게르마늄, 폴리 실리콘 및 기타 다양한 재료를 에칭 할 수 있습니다. 이 도구에는 메인 에칭 챔버 (eching chamber) 와 로드 록 챔버 (loadlock chamber) 를 포함한 2 개의 메인 챔버가 장착되어 있습니다. 주 챔버 (main chamber) 에는 상부 및 하부 저항 가열 된 플래튼 유닛이 포함되어 있으며, 하중 잠금 챔버에는 단일 저항 가열 된 플래튼 유닛이 있습니다. 가열 플래튼 (heating platen) 장치를 사용하여 한 배치 프로세스에서 웨이퍼의 양면을 에치하여 처리량을 증가시킬 수 있습니다. 이 시스템은 또한 반복 가능한 결과를 얻기 위해 온도, 기판 안정성을 제어 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Vigus Nest는 또한 독립 제어 프로세서가 장착 된 멀티 스테이지, 멀티 존 RF 플라즈마트론을 사용하여 플라즈마 전력 밀도 및 에칭 조건을 정확하고 제어 할 수 있습니다. 이 도구에는 총 8 개의 RF 플라즈마 트론이 있으며 최대 전력 출력은 25kW입니다. 또한 펄스, 일정한 흐름 및 폐쇄 루프 질량 흐름 제어 모드에서 작동 할 수있는 3 개의 가스 인젝터가 있습니다. 이를 통해 etch 프로세스 설계의 유연성이 최적화되어 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 툴에는 레시피 개발, 성능 모니터링, 운영 체제 진단을 위한 소프트웨어도 포함되어 있어 Vigus Nest 의 기능을 최대화할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 복잡한 에치 (etch) 프로세스를 쉽게 프로그래밍할 수 있으며, 포괄적인 데이터 유지 관리를 통해 쉽게 참조할 수 있습니다. 사용자는 에치 (etch) 데이터 및 기타 프로세스 매개변수를 추적할 수도 있으며, 에치 프로세스를 최적화하기 위해 귀중한 통찰력과 피드백을 제공합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nest는 반도체 및 태양 광 산업의 광범위한 응용 분야에 적합한 다목적 에칭 도구입니다. 탁월한 제어 및 반복 기능을 제공하여 처리량이 높은 정확한 에칭 (etching) 프로세스를 지원합니다. '포괄적인 소프트웨어 (Comprehensive Software)' 는 최적화와 데이터 유지 관리를 위한 포괄적인 플랫폼을 제공하여 사용자가 최상의 결과를 얻을 수 있도록 지원합니다.
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