판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON VIGUS MASK #9241307

TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS MASK는 TEL의 최첨단 에칭 장비입니다. 집적 회로, 반도체 장치 및 기타 마이크로 일렉트로닉 부품을 제조하는 데 사용되는 비표준 석판 시스템입니다. 이 장치는 얇은 필름의 화학 에칭, 표면 전 처리 및 반도체 기질의 다양한 화학 치료에 사용됩니다. 주로 금속 및 폴리 실리콘 층 (polysilicon layer) 을 포함한 반도체 재료의 패턴 에칭 및 에칭 관련 치료에 사용됩니다. 시간 절약, 화학 폐기물 최소화, 생산 처리량 최적화를 위해 설계되었습니다. TEL VIGUS MASK에는 기계의 주요 구성 요소 인 고성능 음극선 튜브 (CRT) 가 장착되어 있습니다. 이 CRT는 포토 리토 그래피 마스크를 와퍼에 미세하게 투사합니다. "포토마스크 '는" 크로뮴' 과 같은 불투명 한 물질 로 만들어졌으며 원하는 장치 구조 의 "이미지 '로 무늬 가 되어 있다. "마스크 '는 특별 한 비품 에 의하여 제자리 에 박혀 있으며, CRT 는" 마스크' 와 "웨이퍼 '를 통해 밝은 빛 을 투영 한다. 투영 된 광원 의 강도 는 "마스크 '의 광학적 특성 에 따라 다르기 때문 에" 웨이퍼' 에 "패턴 '을 정확 히 제어 할 수 있다. 도쿄 전자 비구스 마스크 (TOKYO ELECTRON VIGUS MASK) 에는 자외선 광원이 장착되어 있는데, 이 광원 은 광저장제 및 기타 화학 치료 에 사용 된다. 또한 웨이퍼 청소 및 이온화 제거, 에칭 전 사전 처리에 사용할 수 있습니다. 또한, VIGUS MASK는 에칭 소프트웨어로 구성되며, 이를 통해 운영자는 유지 시간, 웨이퍼 온도, 에친트 농도와 같은 에칭 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS MASK는 후면 스퍼터링 된 알루미늄 챔버로 설계되어 외부 오염에 대한 추가 보호 기능을 제공합니다. 또한 반응 이온 에처 (reactive ion etcher) 에 의해 생성 된 분리 된 산화물 필름 층 (isolated oxide film layer) 이 장착되어 에칭 중 박막 층이 산화되지 않도록 보호합니다. 이 도구는 매우 안정적이고 효과적이며, 독성 배출 및 폐기물을 최소화하면서 고급 에칭 (etching) 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 결론적으로, TEL VIGUS MASK는 다양한 기능과 기능을 제공하는 고정밀 에칭 자산입니다. 이 모델은 반도체 제조에 사용하기에 적합하며, 다양한 박막 (thin film) 과 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 부품의 정확하고 효율적인 에칭이 가능합니다. 이 장비는 비용 효율적 (cost-efficient) 으로 설계되었으며, 폐기물을 줄이고 처리량을 극대화하는 데 도움이 되는 다양한 기능을 제공합니다.