판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9244886

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus harc는 반도체 및 기타 박막 재료와 같은 귀중한 기판의 매우 정확한 에칭 및 청소에 사용되는 etcher/asher 유형입니다. TEL Vigus harc는 인라인 (in-line) 설계를 갖춘 습식 시스템으로, 더 높은 처리 속도, 더 넓은 처리 창 및 더 나은 균일성을 보장합니다. 이 기계는 이중 진공 에치 챔버 (dual-vacuum etch chamber) 로 설계되어 각 공정 챔버를 완전히 분리하여 에치/클리닝 작업 중 최대의 프로세스 유연성을 제공합니다. 이 로 말미암아, 한 수술 의 증기 가 다른 수술 로 옮겨지지 않게 되며, 다른 약실 에서 가공 하는 동안 생성 되는 화학 물질 이나 "증기 '의 영향 을 받아 섬세한 기질 이 영향 을 받지 않게 된다. TOKYO ELECTRON Vigus harc는 또한 독특한 방향 축 (directional-axial-flow) 디자인을 가지고 있으며, 균일성에 중점을 두어 더 높은 수율을 보장하며, 정밀하게 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이것은 약실의 중심 축을 따라 공정 액체 (process liquid) 와 에칭 가스 (etching gas) 의 지정 흐름에 의해 달성된다. 그런 다음, 기판 은 "에칭 '이나 청소 과정 의 최대적 인 균일성 과 적용 을 위하여" 챔버' 의 중앙 에 위치 한다. 이 기계는 원자로 가스 분배 장치, 온도 조절 장치, 전자 작동 밸브, 외부 스크러버를 이용한 비활성 가스 제어 (inert gas control), 고성능 진공 시스템 등 작동 및 안전을위한 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. 기계상의 전기 연결 도어 (interlockable door) 는 안전하고 안전한 작동 환경을 보장하는 데 도움이 됩니다. 요컨대, Vigus harc는 반도체와 같은 섬세한 기판의 정확한 에칭 및 청소에 사용되는 정교한 etcher/asher입니다. 새로운 이중 진공 에치 챔버, 방향 축 흐름 디자인 및 고급 기능으로 인해 고속, 균일 및 안전한 에칭 및 청소 작업을위한 귀중한 도구입니다.