판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9241305
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TEL/TOKYO ELECTRON Vigus harc (etcher 또는 asher라고도 함) 는 마이크로 및 나노 전자 장치의 생산에 사용되는 고급 플라즈마 에칭 머신 유형입니다. 비접촉 프로세스를 사용하여 제어된 환경에서 금속, 폴리머, 반도체 층을 에치합니다. 에칭 프로세스는 일반적으로 대규모에서 미세 (microscopic) 에 이르기까지 다양한 모양과 크기의 패턴을 달성하는 데 사용됩니다. TEL Vigus harc는 여러 가지 기술을 사용하여 정밀 에칭을 보장합니다. 이 기계는 고급 이온 광학을 활용하는 플라스마 흥분, 진공 기반 에칭 시스템이며, 최적의 제어 및 성능을 위해 정확한 초점 시스템입니다. 또한 에칭 시스템 (Etching System) 에는 높은 수준의 제어 및 유연성이 있어 에치 속도 (etch rate), 에치 깊이 (etch depth) 및 에치 시간 (etch time) 을 선택하여 최대 정확도와 정밀도를 달성할 수 있습니다. 이 기계는 폐쇄 루프 (closed-loop) 진공 환경에서 작동합니다. 즉, 이온 폭격, 에칭 (etching) 에서 청소 및 재료 처리 (clealing and material handling) 까지의 모든 단계가 동일한 밀봉 챔버에서 발생하여 여러 기계의 필요성을 제거하고 최대 효율성과 정확성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Vigus harc에는 다양한 고급 안전 기능이 있습니다. 이 기계는 가스 수준을 지속적으로 모니터링하는 센서 (sensor) 와 다른 안전 조건 (safety condition) 을 포함하여 여러 종류의 예방 계층을 갖춘 자동 안전 메커니즘을 갖추고 있습니다. 고급 사용자 인터페이스와 최첨단 (state-of-the-art) 소프트웨어를 사용하면 에칭 프로세스가 안전하고 효율적인지 확인할 수 있습니다. Vigus harc는 강력하고 정밀한 에칭 머신으로, 고품질 마이크로 (micro) 및 나노 (nano) 전자 장치를 생산할 수 있습니다. 고급 안전 기능, 정밀 제어 시스템, 폐쇄 루프 (closed-loop), 진공 환경 (vacuum environment) 이 결합하여 다양한 산업, 상업 및 연구 응용 프로그램에 사용될 수있는 효율적이고 정확하며 신뢰할 수있는 기계를 만듭니다.
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