판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Vesta #9244884

TEL/TOKYO ELECTRON Vesta는 반도체 웨이퍼 처리를 용이하게하도록 설계된 고효율 etcher/asher 장비입니다. 습식 에칭, 건식 에칭, 플라즈마 에칭 등 다양한 처리 기능을 제공합니다. 컴팩트하고 혁신적인 디자인으로 설치가 쉽고 설치 공간이 적으며, 견고한 구조로 인해 안정적이고 내구성이 뛰어난 시스템입니다 (영문). 이 장치는 매우 다재다능하며, 건식 및 습식 에칭, 플라즈마 에칭 공정 모두에 사용될 수 있습니다. 기체 흐름, 압력, 온도, 고급 웨이퍼 추적 및 구성 가능한 프로세스 프로토콜에 대한 다중 레벨 제어가 특징입니다. 이를 통해 주어진 웨이퍼를 정확하게 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 일관된 수준의 정확성을 유지하기 위해 에치 (etch) 환경을 제어하기위한 최첨단 메커니즘을 제공합니다. 안전성 (Safety) 이 내장된 메커니즘은 인력과 장비를 보호하는 데 도움이 되며, 신뢰성과 견고성 있는 구조는 장기적인 신뢰성을 보장합니다. TEL Vesta는 수동 및 자동 작업을 모두 지원하므로 유연하고 안정적으로 사용할 수 있습니다. 수동 작동 관련 기능에는 온도, 압력 및 가스 흐름을 제어하는 기능이 포함됩니다. 자동 기능은 실시간 프로세스 제어, 자동 재순환 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 공구가 프로세스 전체에서 정밀도를 유지할 수 있습니다. 이 자산은 또한 사용자 친화적이고 사용자 정의 가능한 다양한 프로세스 레시피를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 etch 매개 변수에 빠르고 쉽게 액세스할 수 있으므로, 쉽고 효율적인 프로세스를 수행할 수 있습니다. 이 모델은 또한 데이터 저장 (data storage) 을 허용하며, 운영자가 컴퓨터에서 저장된 레시피를 편리하게 액세스할 수 있도록 합니다. 도쿄 전자 베스타 (TOKYO ELECTRON Vesta) 는 또한 다양한 장비 옵션을 제공하여 각 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의 할 수 있습니다. 강력한 하드웨어/프로세스 제어 하드웨어는 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 프로세스를 제공하는 반면, 대용량 챔버 직경은 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 제공합니다. 이것은 엄청나게 다재다능한 시스템입니다. 전반적으로, Vesta는 반도체 웨이퍼의 정확하고, 반복 가능하며, 안전한 처리를 제공하는 혁신적이고 강력한 etcher/asher 장치입니다. 고급 기능, 사용자 친화적 (user-friendly) 프로세스, 다양한 옵션을 통해 모든 에치 (etch) 애플리케이션에 적합한 강력하고 유연한 머신을 제공합니다.