판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9176469

TEL/TOKYO ELECTRON Unity는 완전히 통합 된 습식 에칭 및 애싱 장비입니다. 업계 최고의 이처 (etcher) 와 애셔 (asher) 를 통해 안정성 및 유지 관리 요구 사항이 낮아 안정성이 높은 프로세싱을 제공할 수 있습니다. TEL Unity 시스템은 다양한 기판 및 재료 표면을 처리하기 위해 고급 습식 (wet-etching) 기술을 사용합니다. 습식 공정은 순수 물, 수성 화학 용액 또는 증기 성 에찬트 (etchant) 와 같은 이온화 된 에칭 미디어를 사용하여 표면 청소, 패턴 및/또는 층 전달을 위해 원치 않는 물질을 효과적으로 에치 및 제거합니다. 애싱 (ashing) 공정은 건식 (dry-etching) 공정을 사용하여 재료 레이어를 제거하여 패턴과 피쳐를 생성합니다. TOKYO ELECTRON Unity (TOKYO ELECTRON Unity) 장치는 소규모 벤치탑 시스템에서 대규모 생산 시스템에 이르기까지 다양한 처리 챔버 크기를 활용하여 다양한 프로세스를 지원합니다. 이 기계는 또한 다양한 공정 가스 (process gase) 및 화학 전달 시스템 (chemical delivery system) 과 호환되도록 설계되었으며, 습식 및 건식 에칭을 모두 사용할 수 있습니다. 유니티 (Unity) 도구는 공기 태생의 초 필터, 화학 필터, 화학 배기 스크러버 에셋과 같은 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한이 모델은 위험한 작업에 대한 SEMI 보호 표준을 준수합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 장비는 프로세스 흐름 및 매개 변수 입력, 프로그램 관리, 데이터 표시 등 설치와 제어가 용이한 통합 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 또한 프로세스 레시피 관리 및 데이터 아카이빙을 통합하여 추적 능력을 향상시킵니다. 내장형 디스플레이를 사용하면 각 프로세스의 진행 상황을 실시간으로 모니터링하고, 그에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다. TEL 유니티 (Unity) 장치는 자동화 및 효율성을 높이기 위해 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 제어 시스템 (control system) 과 같은 다양한 외부 시스템과 상호 작용할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON UNITY 머신 (TOKYO ELECTRON UNITY Machine) 은 다양한 습도 및 건식 (dry-etching) 작업을 위해 고성능, 신뢰성 및 유지 관리 처리를 달성하려는 사용자에게 이상적인 솔루션입니다. 고급 안전 기능, 강력한 챔버 구성, 사용자 친화적 인 GUI 를 갖춘 Unity 툴은 반도체, 데이터 스토리지, 고급 자재 처리 (Advanced Materials Processing) 를 위한 대중적인 선택이 되었습니다.