판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9146219

TEL/TOKYO ELECTRON Unity는 반도체 프로세스에 사용되는 중요한 에칭 장비입니다. 고급 재료 에칭 및 증착 프로젝트를 수행 할 수있는 단일 웨이퍼 드라이 플라즈마 애셔 (wafer dry plasma asher) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 더 나은 성능, 안정성, 생산성을 강조하는 혁신적인 새로운 업그레이드 설계를 갖추고 있습니다. 에칭 유닛은 여러 프로세스를 하나의 모듈 식 머신으로 통합하여 효율적이고 자동 화학 교환 (automatic chemistry exchange) 프로세스를 달성합니다. TEL 유니티 (TEL Unity) 는 내부가 깨끗하고 비활성 물질로 만들어진 진공 챔버를 기반으로합니다. 후면에 연결된 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 에 의해 대피 된 대기가 챔버에 설치됩니다. 내부에는 이동 가능한 전극 홀더가 샘플을 제자리에 보관합니다. PMAC (Power Monitor and Control) 는 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 전압, 전류 및 주파수 변조 제어를 허용합니다. 이 프로세스는 15 개가 넘는 프로세스 레시피를 갖춘 온보드 프로세스 라이브러리가있는 터치 스크린 사용자 인터페이스 (touchscreen user interface) 를 통해 제어됩니다. 이 도구는 SEMI 표준을 준수하며, 이 인터페이스는 고객의 자동화 시스템과 호환됩니다. ECO 작동 모드를 사용하면 처리 시간과 비용을 최적화할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity에는 자산을 안정적이고 효율적으로 만드는 다양한 기능이 있습니다. 자동 조절 기술은 사용자 정의 매개변수에 따라 조건화를 제어하여 수동 계획을 제거합니다. 또한, 석영 폴리실리콘 웨이퍼 에치 모드는 높은 이방성 (anisotropy) 및 매우 타이트한 프로파일 제어를 달성한다. 에칭 결과의 균일성은 업계 최고의 측면입니다. 복잡한 형상에서도 프로파일 제어 (profile control) 및 피쳐 평행 처리 (feature parallelism) 는 요구 사항 내에서 단단히 유지됩니다. 신속하게 교환할 수 있는 소모품과 원격 문제 해결 기능을 통해 단결을 쉽게 유지할 수 있습니다. 에치 (etch) 모델은 반복성 (repeatability) 과 유지보수성 (maintainability) 을 위해 설계되었으므로 사용자는 여러 웨이퍼에 대해 동일한 에칭 조건을 재현할 수 있습니다. 또한 사용자는 PMAC 컨트롤러의 모니터링 장비를 통해 모든 문제에 대해 경고합니다. 프로세스 피드백 시스템 덕분에, 사용자는 에칭 레시피를 실시간으로 추적할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Unity는 산업 및 상업 응용 분야에 이상적인 강력하고 다양한 에칭 장치입니다. 고급 에칭 및 증착 프로젝트를 위한 최고 수준의 성능, 안정성, 비용 효율성을 제공합니다. 이 제품은 최신 기술로 설계되었으므로, 사용자는 에칭 (etching) 프로세스가 반복 가능하며, 결과가 균일하고 최적화되었는지 확인할 수 있습니다.