판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9142639

TEL/TOKYO ELECTRON Unity는 반도체 제조를위한 최첨단 에처/애셔입니다. 오늘날 정교한 반도체 기술을 위해 탁월한 고정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 플랫폼은 모듈식 (modular) 설계를 기반으로 하여 다양한 옵션으로 구성되며, 대부분의 반도체 (semiconductor) 프로세스에 적합합니다. 이 장비는 드라이 에칭 (dry etching), 습식 에칭 (wet etching), 애싱 (ashing), 버퍼링 (buffering) 및 몰리브덴 에칭 (molybdenum etching) 과 같은 모든 공정을 특징으로하며 고급 필름 에칭 기술을 통합합니다. 또한 모든 에칭 프로세스에서 고정밀도, 단단한 공차, 뛰어난 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 시스템의 설계는 효율적이고 안정적인 운영을 보장합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 고밀도 ECR 소스가 포함되어 있어 위험한 전기 분야에 대한 노출을 최소화하고 플라즈마 최적화 관리 (plasma optimization management) 를 포함한 최대 에칭 성능을 위해 종합 플라즈마 소스 유닛이 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 전력 및 가스 제어 값 조정, 진공 혼합물, 기판 대 가스 비율 관리 등 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. 이는 프로세스가 얼마나 복잡한지에 관계없이 고정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 작업을 보장합니다. 또한 이 툴은 유지 보수 친화적이며 업그레이드 가능합니다. 사용자는 새로운 프로세스와 구성 요소를 설치에 쉽게 추가할 수 있습니다 (예: ECR 소스 유형 변경, 최신 소프트웨어/프로세서 업그레이드). 또한 원격 액세스 기능을 제공하여 여러 위치에서 모델의 기술 데이터, 프로세스, 정보 데이터베이스, 서비스 설명서 등을 액세스할 수 있습니다. TEL Unity 는 최고의 반도체 구성요소를 제작하는 강력한 툴로서, 탁월한 성능, 안정성, 확장성, 경제성을 제공합니다. 종합적인 프로세스 제어 (process control) 와 결합된 고급 기능으로, 오늘날의 정교한 반도체 프로세스에 이상적인 솔루션이 됩니다.