판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity Ver.II 65DI #293643508

TEL Unity Ver.II 65DI는 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼의 최적의 에칭 및 재싱을 위해 설계된 고급형 에처/애셔입니다. 이 제품은 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있어, 작업을 에치 (etching) 및 애쉬 (ashing) 하는 데 다양하고 효과적인 솔루션입니다. TOKYO ELECTRON Unity Ver.II 65DI의 최대 기판 크기는 6 인치 (150mm) 입니다. 최대 1,150 ° C의 기질 온도를 지원하며 웨이퍼의 균일 하고, 반복 가능한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 가능하게하는 공기 베어링 단계를 포함합니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 관찰하여 품질 보장을 보장하는 실시간 광학 비디오 모니터링 장비가 있습니다. 자동 로드 장치 (Auto-Load Unit) 와 결합된 모니터 시스템을 사용하면 프로세스를 더 쉽게 반복, 수행 및 모니터링할 수 있습니다. 에칭/애싱 프로세스는 한 쌍의 자동 포지셔너와 EGA 게이트에 의해 관리됩니다. EGA 게이트는 플럭스, 압력, 에칭 깊이를 제어 할 수 있으므로 더 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 선택적 이온 소스를 장치에 추가 할 수 있으며, 이를 통해 기판을 더 빨리 에칭 및 애싱 (ashing) 할 수 있습니다. Unity Ver.II 65DI etcher/asher는 높은 처리량과 효율성을 위해 설계되었습니다. 경제 시간 에칭 (eching) 프로세스를 지원하여 에칭 및 애싱 속도를 높여 프로세스 시간을 줄입니다. 또한, 브로민화 수소 (HBr) 및 염소 (Cl2) 를 포함한 광범위한 가스를 사용하여, 고도로 제어 가능하고 일관된 에치 프로파일을 생성 할 수있다. 이 장치는 다양한 옵션으로 확장할 수 있으므로 R&D (R&D) 및 프로덕션 어플리케이션 (Production Application) 모두에 적합합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Unity Ver.69DI etcher/asher는 웨이퍼 및 기판의 에칭 및 재싱을위한 효율적이고 빠르고 정확한 솔루션입니다. 다목적 특성과 자동 제어 장치 (Automatic Control Machine) 는 모든 에칭 및 애싱 프로세스에 적합한 선택입니다.