판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity SP #9284470

TEL/TOKYO ELECTRON Unity SP (TELL/TOKYO ELECTRON Unity SP) 는 최소한의 시간과 노력으로 고품질 에치 결과를 생성하도록 설계된 예술, 완전 자동화 에처/애셔의 상태입니다. 다재다능한 장비는 주 에처 장치와 1 개의 강철 프리 에치 챔버로 구성됩니다. 메인 에처 (main etcher) 장치에는 조정 가능한 온도가있는 독립적 인 핫 존 (hot zone) 과 빠른 웨이퍼 교환을 용이하게하는 오픈 프레임 프로세스 챔버 (open frame process chamber) 가 있습니다. 에치 전 챔버 (pre-etch chamber) 에는 높은 흐름 펌프가 장착되어 높은 에칭 속도와 큰 처리량에 도달 할 수 있습니다. TEL Unity SP 에는 수동 및 자동 작업 모드가 있으므로 etch 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 터치스크린 인터페이스 (Touchscreen Interface) 와 PC (PC) 를 포함한 제어 시스템은 모든 에칭 매개변수의 높은 정확성을 보장합니다. 진공은 고효율 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 에 의해 공급되어 깨끗하고 빠른 에칭 환경을 제공합니다. 배기 및 보호 온도 경보와 같은 고급 안전 기능도 TOKYO ELECTRON Unity SP 에 있습니다. 건조 또는 습식 에칭이 필요하든 간에, 시스템은 매우 효율적이고, 균일하며, 결과의 반복성이 높습니다. 유니티 SP (Unity SP) 는 추가 장비 없이 나노 미터 홈에서 전체 기판까지 가장 복잡한 기판을 가져올 수 있습니다. 또한, 고급 기후 제어 장치 (Advanced Climate Control Unit) 는 민감한 재료 및 기판에 대해 저온 에칭을 가능하게합니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Unity SP는 최저의 가장자리 형성을 통해 효율적이고 균일 한 에칭을 위해 고급 수직 및 재순환 펌프를 제공합니다. "펌프 '는 심지어" 에치' 화학 물질 과 낮은 화학 폐기물 의 분포 까지도 보장 하여 높은 수준 의 식각 결과 를 제공 한다. 외부 챔버 (outer chamber) 는 공정 챔버에 에칭 가스를 순차적으로 공급하고 에칭 중 공정 챔버를 대피시킵니다. 전반적으로 TEL Unity SP etcher/asher는 시장에서 가장 정확한 에칭 결과를 제공하기 위해 설계된 가장 고급 기계입니다. 기능이 풍부한 설계를 통해 일관성 있고, 깨끗하며, 고성능 에칭 결과를 제공하면서 쉽고, 빠르고, 효율적으로 작업을 수행할 수 있습니다.