판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 8555 DDD #9117097
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ID: 9117097
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2002
System, 8"
Process type: Oxide
Wafer type: Notch
(3) Chambers
Chamber type: DRM
Main body type: SMIF
Interface type: SMIF
Robot fork type: Ceramic coating
Wafer clamp type: ESC
ESC Type: Ceramic
No EPD
ECC Rack: V-2
Monitor: Front
Signal tower: (4) Colors
Automation online: GEM
Area sensor type: Individual (2) area sensors
Includes:
Vacuum / RF Controller module
AC Power distribution: TEL (UM 4PC)
No Y2O3 Process kit
Transfer chamber:
C/C1 Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
C/C1 Pressure switch LEYBOLD vakuum PS113 16014
C/C2 Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
C/C2 Pressure switch LEYBOLD vakuum PS113 16014
T/C Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
Transfer robot YASKAWA XU-RVM3800
Wafer alignment YASKAWA XU-AVP3700
C/C1 Controller YASKAWA XU-BDB14011
C/C2 Controller YASKAWA XU-BDB14012
Transfer interface box YASKAWA XU-BCB1600
Gate valve type VAT ROLLCAM
Process chambers (1,2,3):
Gas# 1 C4F8 10 sccm
Gas# 2 Ar 100 sccm
Gas# 3 O2 10 sccm
Gas# 4 CHF3 100 sccm
Gas# 5 N2 500 sccm
Gas# 6 CF4 100 sccm
Gas# 7 CH2F2 100 sccm
Gas# 8 C4F6 30 sccm
CM1 250 mTorr MKS 627A-13614-S
CM2 10 Torr MKS 627A-14583
PCV Unit center 100 Torr MKS 640A-22936
PCV Unit edge 100 Torr MKS 649A-22016
APC V/V VAT 65044-PH52-0004
APC Con't VAT PB6 (in P/C Control Rack)
Turbo pump SEIKO SEIKI STP-A803C
Turbo con't SEIKO SEIKI STP-A803C
Pressure switch#1 MKS 51A52TGA2BA500
Pressure switch#2 MKS 51A31TGA2BA010
Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
Ion gauge LEYBOLD 1TR100-T
RF Generator (Bottom): ENI GHW-25
RF Matcher (Bottom): ENI MWD-25LD
DC P/S: TEL
HV-DC P/S: TEL
Lift pin type: TEL Stepping motor drive
GAP Type: Pancake air cylinder
Process chamber 2:
Gas# 1 C4F8 10 sccm
Gas# 2 Ar 100 sccm
Gas# 3 O2 10 sccm
Gas# 4 CHF3 100 sccm
Gas# 5 N2 500 sccm
Gas# 6 CF4 100 sccm
Gas# 7 CH2F2 100 sccm
Gas# 8 C4F6 30 sccm
Electrical configuration:
ECC:
Slot#0 TEB408-11 HDMC
Slot#1 SVA011
Slot#2 SVA011
Slot#3 TEB107_ECS5
Slot#4 PPC6603ev_M/C TEB205
Slot#5 PPC6603ev_M/C TEB205
Slot#6 Blank
Slot#7 TEB001-12_GHUB
Slot#8 Print board
Slot#9 Blank
Slot#10 Blank
Slot#11 Blank
Slot#12 TVB0008-2_VMIF
ECC P/S ECC DC Power supply module
HDD#1 TEB407 HDD Base
HDD#2 TEB407 HDD Base
Transfer chamber:
Slot#1 Blank
Slot#2 TYB135 / OPE
Slot#4 TYB134 / ILK
Slot#5 TYB112 / DIO#1
Slot#3 TYB112 / DIO#2
Slot#6 TYB112 / DIO#3
Slot#7 TYB111 / MAIO
Slot#8 YE CPU (JASRC-BCP02) Software Ver 2.2
Slot#9 YE CPU (JASRC-BCP02) Software Ver 2.2
Slot#10 Blank
Slot#12 YE P/A ( XU-SVA0100C)
T/C P/S T/C DC Power supply
Process chambers (1,2,3):
Slot#1 APC / PB-6
Slot#2 Blank
Slot#3 TYB112 / DIO
Slot#4 TYB111 / MAIO
Slot#5 Blank
Slot#6 TYB121 / COM#1
Slot#7 TEMP / REX-B860-CS2
Does not include:
Pumps
Chillers
SMIF Loaders: LPT2200
2002 vintage.
etcher 또는 asher라고도하는 TEL/TOKYO ELECTRON Unity ME 8555 DDD는 전자 산업의 전문가들이 다양한 작업에 사용하는 전문 도구입니다. 그것 은 여러 가지 물질 을 "기판 '의 표면 에 정확 하게 배치 하도록 설계 되었다. 이 기능은 etching, deposition, lithography 및 assembly 등 다양한 프로세스에 유용한 도구입니다. 이 장치는 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber), 기판 위치 및 운송을위한 턴테이블, 대량 흐름 컨트롤러, 가스 매니 폴드 및 난방 시스템으로 구성됩니다. 기술 사양에 관해서는, Unity ME 8555는 400x400mm의 기판 홀더를 가진 작업 영역을 자랑합니다. 또한, 최대 0.5mm의 두께의 기판을 에칭 할 수있는 기능이 있습니다. 이 설정을 통해 사용자는 구리, 실리콘, 알루미늄, 스테인리스 스틸 등 다양한 재료의 기판을 가져올 수 있습니다. 이 장치는 강력한 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 때문에 사용이 매우 쉽습니다. 소재 요구 조건 에 따라 원하는 결과 를 내도록 쉽게 "프로그램 '할 수 있다. 이 장치는 내장된 자동 레시피 (Auto-Recipe) 기능과 통합되어 사용자의 에칭 레시피 수를 무제한으로 저장할 수 있습니다. 또한 카메라가 내장되어 있어 에칭 (etching) 진행 상황을 비디오 모니터링할 수 있으므로 사용자가 프로세스를 관리하는 데 도움이 됩니다. 또한 etcher 는 etching 프로세스 후에 데이터를 볼 수 있는 소프트웨어 (software) 를 가지고 있습니다. 이 통합 에칭 분석 소프트웨어에는 에치 속도 (etch rate), 라인 너비 측정 (line width measurement), 포커스 레벨 (focus level), 서피스 거칠기 (surface roughness) 등 다양한 도구가 포함됩니다. 이 모든 데이터를 통해 사용자는 원하는 결과에 따라 프로파일 에칭 (etching profile) 을 만들고 프로세스를 수정할 수 있습니다. TEL Unity ME 8555 DDD는 믿을 수 없을 정도로 내구성이 뛰어난 기계입니다. 부품 유지 보수 및 교체를 용이하게 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 에칭 재료 (etching material) 유형의 여러 용량으로, 에처는 다양한 프로세스 및 응용 프로그램에 적합합니다. 가전 제품 (Consumer Electronics) 에서 자동차 개발 (Automotive Development) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 이상적인 기능을 제공합니다.
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