판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 #9286040

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85는 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 시스템은 진화 단위 유형 Eller/Wet Etcher (EUE) 입니다. EUE는 양면 에칭 및 애싱 챔버 (ashing chamber) 로, 독립적 인 에치/애쉬 제어 및 둘 사이의 원활한 전환을 통해 균일성을 제공합니다. 에칭 공정은 산화물 제거 기능 (oxide removal function) 과 안티 에치 기능 (anti-etch function) 을 모두 활용하며, 둘 다 최적의 처리 결과에 맞게 정확하고 정확하게 조정 될 수 있습니다. 이 장치는 표준 및 고가상도 웨이퍼와 모두 호환되며, 애싱 응용 프로그램을 위해 75mm-125mm를 지원할 수 있습니다. 또한 플라즈마 또는 UV 기반 에칭 옵션과 다양한 에치/애쉬 챔버-웨이퍼 크기 비율 (etch/ash chamber-wafer size ratios) 옵션이 사전 설정되어 있습니다. TEL Unity ME 85는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능 외에도 다양한 기능을 제공하여 다양한 어플리케이션에 이상적인 기능을 제공합니다. 편리한 로드 잠금 (load lock) 및 RF뿐만 아니라 온도, DC 바이어스, 자동 수정 및 기계식 진단 및 경보를 제어하는 기능이 있습니다. 또한 에칭을위한 12 가지 종류의 가스와 다양한 산화제 및 비 산화제 조합에 대한 인증을 받았습니다. 최대 4 개의 "가스 '를 동시에 모니터링할 수 있으며," 센서' 와 "센서 '와" 탐지기' 를 위한 조정 가능한 포트 를 갖추고 있어 프로세스 를 부드럽고 효율적 으로 유지 할 수 있다. 이 도구는 또한 국제 서비스 네트워크 (International Service Network) 의 지원을 받아 구성 요소의 서비스 및 유지 관리를 빠르고 편리하게 수행할 수 있습니다. 최고 수준의 안전 및 성능을 보장하기 위해 TOKYO ELECTRON UNITY ME-85는 UL/CSA, CE 및 VDE 표준에도 적합합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME-85는 신뢰할 수 있고 효율적인 etcher/asher 자산으로, 다양한 프로세스에 필요한 높은 수준의 정확성을 제공합니다. 정교한 기능, 포괄적인 안전 및 성능 표준, 편리한 서비스/유지 보수 (service/maintenance) 프로토콜을 통해 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션을 손쉽게 선택할 수 있습니다.