판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 DRM #293610374

TEL Unity ME 85는 다양한 기판으로 웨이퍼를 효과적으로 처리하도록 설계된 에치/애쉬 (etch/ash) 장비입니다. 이 제품은 시장에서 가장 강력하고 안정적인 에치/애쉬 (etch/ash) 시스템 중 하나이며, 최대 10 인치의 웨이퍼 크기 용량을 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 멀티 챔버 및 multi-zone metal-oxide-semiconductor (MOS) etcher/ashers가 장착되어 있으므로 다른 유형의 시스템에 도달 할 수없는 수준의 제어가 가능합니다. 이 장치는 또한 고급 확산 및 증착 챔버 (deposition chamber) 를 특징으로하며, 에치/애쉬 (etch/ash) 공정을 정확하게 제어하고 웨이퍼를 빠르고 균일 하게 처리 할 수 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON Unity ME 85에는 자동 웨이퍼 로더가 장착되어 있어 기계의 빠르고 효율적인 로딩 및 언로드가 가능합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85는 고급 플라즈마 임피던스 제어 (PIC) 도구를 사용하여 플라즈마를 보다 정확하게 제어하여 균일 한 에치/애쉬 처리를 제공합니다. 또한, 에셋은 웨이퍼 온도 변화를 최소화하기 위해 향상된 냉각 모델을 가지고 있으며, 정확하고 반복 가능한 프로세스를 허용합니다. 이 에치/애쉬 (etch/ash) 장비는 PC GUI와 함께 구성 가능한 레시피를 제공하여 특정 요구 사항에 맞게 프로세스를 신속하게 사용자 정의하고 다중 채널 열 제한 시스템 (Multichannel Thermal Limit System) 을 통해 정확한 온도 조절 및 일관성을 보장합니다. etch/ash 프로세스의 정확한 제어 및 정확성 외에도 TEL Unity ME 85 (TEL Unity ME 85) 는 높은 처리율을 제공하여 분당 최대 5 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 즉, 대용량 에치/애쉬 (etch/ash) 애플리케이션에 적합한 유닛으로 처리량 및 생산성 극대화를 위한 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Unity ME 85는 정확한 제어, 균일 한 처리 및 높은 처리량을 결합한 고급 에치/애쉬 머신으로, 모든 반도체 응용 프로그램, 특히 빠르고 균일 한 에치/애쉬 처리가 필요한 도구에 적합합니다.