판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 45D #293615959

TEL/TOKYO ELECTRON Unity ME 45D는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 에처/애셔입니다. 이 단일 챔버 건식 공정 에처/애셔는 대량 생산 라인과 연구 및 개발 응용 프로그램 모두에 적합합니다. TEL Unity ME 45D는 에칭 중 손실 또는 흡수 비율이 낮은 실리콘, 산화물, 질화물, 폴리 실리콘 및 금속을 포함한 다양한 재료를 에치 할 수 있습니다. ME 45D는 2 개의 샤워 헤드 세트와 2 개의 기판 홀더가있는 단일 챔버로 설계되었습니다. 이를 통해 두 기판을 동시에 에칭할 수 있습니다. 또한 에칭 정밀도를 높이기 위해 3 단계 터보 분자 펌프를 갖춘 높은 진공 시스템을 갖추고 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 에처/애셔 (etcher/asher) 가 에칭 프로세스에 필요한 정확한 조건을 유지할 수있는 여러 프로세스 제어 장치가 장착되어 있습니다. ME 45D (ME 45D) 는 세로로 장착된 제어판에 의해 제어되며, 이 제어판을 통해 연산자는 에치 시간, 에치 압력 및 기타 매개변수를 정확하게 에칭 결과에 맞게 조정할 수 있습니다. ME 45D에는 가스 믹싱 (gas mixing) 및 현장 (in-situ) 진단 시스템이 장착되어 있어 프로세스를 모니터링하고 에치 프로세스의 정확성을 보장합니다. "가스 '혼합 장치 는" 에칭' 하는 동안 사용 되는 "가스 '의 유속 과 비율 을 정확 하게 제어 할 수 있다. ME 45D는 비활성 가스 누출 탐지기, 비상 환기, 누출 탐지 시스템 등 안전 기능으로도 설계되었습니다. 또한, ME 45D는 에치 프로세스 동안 생성 된 미립자 및 냄새를 포착 할 수있는 고효율 스크러버 장치를 가지고 있습니다. ME 45D는 다양한 에칭 기능, 정확한 제어, 간편한 유지 관리 및 사용자 안전 기능을 제공하는 건식 공정 에처/애셔입니다. 이 조합은 반도체 제조에 이상적인 에처/애셔입니다.