판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity M #293820990

TEL/TOKYO ELECTRON Unity M 시리즈 에처/애셔는 웨이퍼에서 포토레스 패턴을 에칭 및 제거하기위한 고성능 시스템입니다. TEL 유니티 M (Unity M) 은 다양한 요구를 충족하는 광범위한 프로세스를 갖추고 있으며, 우수한 프로세스 반복성과 균일성을 자랑합니다. 또한 TOKYO ELECTRON UNITY-M은 전력을 적게 소비하며 다른 시스템보다 재료를 적게 사용합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-M은 구리 에칭 및 유전체 스트리핑과 같은 다양한 프로세스를 지원하도록 설계된 포괄적 인 etcher/asher 장비입니다. 모든 프로세스 관련 데이터를 기록, 관리하는 고정밀 연동 시스템 (High-Precision Interlock System) 과 정교한 기능 제어 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 다양한 에칭 속도를 가진 포토레지스트나 다른 재료를 에치 (etch) 및 스트립 (strip) 할 수 있으며, 매개변수를 실시간으로 설정 및 조정할 수 있습니다. 로봇 샘플 교환기는 자동 제어 및 빠른 샘플 로드를 위해 유니티 M (Unity M) 에 연결할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON Unity M의 고급 프로세스 도구를 사용하면 낮은 왜곡, 균일 한 패턴 및 포일 형성을 통해 웨이퍼 균일성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 자동 조정 기능을 사용하여 반복 가능한 레시피를 장착하는 데 소요되는 시간을 줄입니다. TEL UNITY-M은 또한 유해 재료 및 단락 회로 제어에 대한 고급 안전 기능을 자랑합니다. UNITY-M에는 한 번의 클릭으로 여러 가지 etch 매개 변수 레시피를 설정할 수있는 제어 모듈이 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스는 TEL 성능 모니터링 툴을 통해 원격 제어 및 데이터 공유를 지원합니다. 이렇게 하면 보다 세밀하고 정확한 프로세스 제어를 통해 생산량 및 성능이 향상됩니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Unity M은 다른 시스템보다 전력 및 소재를 적게 소비하며, 평균 전력 소비량은 500W입니다. 또한 인력 비용 면에서도 효율적이며, 간단하고 복잡한 에칭 (etching) 프로세스를 모두 실행할 수 있습니다. TEL Unity M은 eching 및 stripping 프로세스의 효율성을 크게 높이고 생산 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 다양한 기능을 제공하여 프로세스 성능을 향상시키고 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 따라서, 낮은 비용으로 우수한 식각 결과를 얻을 수있는 다재다능하고 강력한 핵산 표면 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다.